[发明专利]圆盘状玻璃基板及其制造方法、薄板玻璃基板的制造方法和导光板的制造方法

权利要求书

1.一种圆盘状玻璃基板的制造方法，其为用于切割出1个或2个以上的薄板玻璃基板的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，该方法包括：

准备圆盘状玻璃坯板，该圆盘状玻璃坯板是具有圆形的2个主表面的玻璃坯板；

对所述圆盘状玻璃坯板的所述2个主表面各自的外缘部进行倒角；

利用双面磨削装置对倒角后的所述圆盘状玻璃坯板的所述2个主表面进行磨削；和

利用双面研磨装置对磨削后的所述圆盘状玻璃坯板的所述2个主表面进行研磨。

2.如权利要求1所述的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述研磨中，对所述磨削后的圆盘状玻璃坯板的2个主表面进行研磨，由此制作板厚为100～350μm的圆盘状玻璃基板。

3.如权利要求1或2所述的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述研磨中，对所述磨削后的圆盘状玻璃坯板的2个主表面进行研磨，由此制作直径为70～210mm的圆盘状玻璃基板。

4.如权利要求1～3中任一项所述的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述研磨中，对所述磨削后的圆盘状玻璃坯板的2个主表面进行研磨，由此制作均方根粗糙度Rq为0.4nm以下的圆盘状玻璃基板。

5.如权利要求1～4中任一项所述的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述研磨中，对所述磨削后的圆盘状玻璃坯板的2个主表面进行研磨，由此制作平行度小于1.0μm的圆盘状玻璃基板。

6.如权利要求5所述的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述研磨中，对所述磨削后的圆盘状玻璃坯板的2个主表面进行研磨，由此制作平行度为0.05～0.95μm的范围内的圆盘状玻璃基板。

7.如权利要求1～6中任一项所述的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，

将所述倒角后的圆盘状玻璃坯板的除了外周端面和倒角面以外的板厚设为t1毫米，

将所述倒角后的圆盘状玻璃坯板的外周端面的板厚设为t2毫米，

将通过进行所述研磨而制作的圆盘状玻璃基板的除了外周端面和倒角面以外的板厚设为t3毫米时，

满足t1×0.15＜t2＜t1×0.4和t3×0.5＜t2。

8.如权利要求1～7中任一项所述的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述倒角中，利用机械处理或化学处理对所述外缘部进行倒角，由此形成倒角面，

在所述磨削和所述研磨中，以所述倒角面的至少一部分残存的范围的加工余量对所述圆盘状玻璃坯板的所述2个主表面进行磨削、研磨。

9.如权利要求1～8中任一项所述的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述研磨中，设加工余量为D时，以满足20μm≤D＜150μm的方式阶段性地对所述磨削后的圆盘状玻璃坯板的所述2个主表面进行研磨，由此制作板厚为100～350μm、且直径为70～210mm、且2个主表面的平行度小于1.0μm的圆盘状玻璃基板。

10.如权利要求1～9中任一项所述的圆盘状玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述研磨包括：

实施第1研磨：利用所述双面研磨装置对所述磨削后的圆盘状玻璃坯板的所述2个主表面进行研磨；和

实施第2研磨：利用所述双面研磨装置对实施了所述第1研磨后的圆盘状玻璃坯板的所述2个主表面进行研磨，

在所述第1研磨和所述第2研磨中，应用于所述双面研磨装置的研磨垫与研磨浆料的组合相互不同。