[发明专利]半导体FDC数据分类方法、装置和计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种半导体FDC数据分类方法，其特征在于，包括：

获取传感器清单，所述传感器清单中包括多个传感器，各所述传感器用于监控半导体机台参数；

遍历所述传感器清单，并获取所述传感器清单中的目标传感器在近期内获取的FDC数据；

在所述目标传感器在近期内获取的所述FDC数据的数据量大于阈值的情况下，确定所述FDC数据的分布规律；

根据所述分布规律确定所述FDC数据的类型，所述FDC数据的类型是指所述FDC数据在统计学上服从的分布类型。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述目标传感器在近期内获取的所述FDC数据的数据量大于阈值的情况下，确定所述FDC数据的分布规律，包括：

对所述FDC数据进行过滤处理，得到过滤后的FDC数据；

构建过滤后的所述FDC数据的统计直方图；

根据所述统计直方图，确定所述FDC数据中不同数值的个数和所述FDC数据的总数据量，所述总数据量表征所述FDC数据的总个数。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述分布规律确定所述FDC数据的类型，包括：

根据所述不同数值的个数和所述总数据量，确定所述FDC数据的类型。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，根据所述不同数值的个数和所述总数据量，确定所述FDC数据的类型，包括：

在所述不同数值的个数为1，且所述总数据量大于或者等于第一数据量的情况下，确定所述FDC数据的类型为单一管道类型；

在所述不同数值的个数为1，且所述总数据量小于所述第一数据量的情况下，确定所述FDC数据的类型为所述单一管道类型或者常规分布类型，所述常规分布类型包括正态分布。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，根据所述不同数值的个数和所述总数据量，确定所述FDC数据的类型，包括：

在所述不同数值的个数小于等于预定值、所述不同数值的个数不为1、所述不同数值的个数小于或者等于所述总数据量的预定百分比以及所述总数据量大于或者等于第二数据量的情况下，确定所述FDC数据的类型为多元管道类型；

在所述不同数值的个数小于等于所述预定值、所述不同数值的个数不为1、所述不同数值的个数小于或者等于所述总数据量的预定百分比以及所述总数据量小于所述第二数据量的情况下，最终确定所述FDC数据的类型为多元管道类型或者常规分布类型，所述常规分布类型包括正态分布。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，根据所述不同数值的个数和所述总数据量，确定所述FDC数据的类型，包括：

在所述不同数值的个数大于预定值、所述不同数值的个数不为1、所述不同数值的个数大于所述总数据量的预定百分比的情况下，确定所述FDC数据的类型为非特定管道类型。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述目标传感器在近期内获取的所述FDC数据的数据量大于阈值的情况下，确定所述FDC数据的分布规律，包括：

将所述FDC数据按照时间先后顺序进行排序；

将排序后的所述FDC数据，划分为多个数据组，每个所述数据组包括的所述FDC数据的数量相同；

计算出各所述数据组的所述FDC数据的平均值和标准方差。