[发明专利]一种基于无线无源的柔性声表面波结冰传感器在审
| 申请号： | 202210578322.9 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN114942444A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 姜胜林;周里程;周嘉皓;张祚瑞;叶相君;杨璐语;王嘉浩;汪详鑫 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01S15/88 | 分类号： | G01S15/88;G01S7/52;G01S7/521 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 胡佳蕾 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 无线 无源 柔性 表面波 结冰 传感器 | ||
1.一种基于无线无源的柔性声表面波结冰传感器，其特征在于，包括：
柔性衬底；
沉积在所述柔性衬底上的柔性压电基底；
位于所述柔性压电基底上的输入叉指电极、输出叉指电极、波导层及天线；其中，所述波导层覆盖输入叉指电极和输出叉指电极，所述天线与输入叉指电极和输出叉指电极连接；
所述输入叉指电极用于将输入的激励信号转化为机械信号，通过振动使所述柔性压电基底激发瑞利波；所述波导层采用PVDF材料，用于将所述瑞利波转化为乐甫波，并将所述乐甫波传导至所述输出叉指电极；所述输出叉指电极用于将接收的乐甫波转换为电信号，并传输给所述天线。
2.根据权利要求1所述的基于无线无源的柔性声表面波结冰传感器，其特征在于，所述柔性声表面波结冰传感器还包括位于所述输入叉指电极和输出叉指电极两侧的反射栅，用于放大信号。
3.根据权利要求2所述的基于无线无源的柔性声表面波结冰传感器，其特征在于，所述反射栅为制备在所述柔性压电基底上的金属条，所述金属条位于声表面波的传播路径上且与其传播方向正交。
4.根据权利要求1所述的基于无线无源的柔性声表面波结冰传感器，其特征在于，所述柔性衬底采用PI材料制成。
5.根据权利要求1所述的基于无线无源的柔性声表面波结冰传感器，其特征在于，所述柔性压电基底采用ZnO柔性材料制成。
6.根据权利要求1所述的基于无线无源的柔性声表面波结冰传感器，其特征在于，所述输入叉指电极和输出叉指电极均为Al电极。
7.根据权利要求1所述的基于无线无源的柔性声表面波结冰传感器，其特征在于，所述柔性压电基底厚度为2μm～5μm，所述波导层厚度为50nm-500nm。
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