[发明专利]一种高铜含量的有机酸超粗化微蚀液及其应用在审
申请号: | 202210580531.7 | 申请日: | 2022-05-26 |
公开(公告)号: | CN114672807A | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 陈修宁;王立中;李晨庆;黄志齐;王淑萍 | 申请(专利权)人: | 深圳市板明科技股份有限公司 |
主分类号: | C23F1/18 | 分类号: | C23F1/18;H05K3/06 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 李巍 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 含量 有机酸 超粗化微蚀液 及其 应用 | ||
1.一种高铜含量的有机酸超粗化微蚀液,其特征在于,包括以下质量浓度成分:
来自铜离子源的二价铜离子 10~70g/L,
有机酸 10~180g/L,
来自氯离子源的氯离子 5~80g/L,
络合剂 5~90g/L,
多羟基化合物 0.0005~2g/L,
水溶性聚合物 0.0001~0.6g/L,
溶剂为去离子水。
2.如权利要求1所述的高铜含量的有机酸超粗化微蚀液,其特征在于,所述的铜离子源选自甲酸铜、乙酸铜、氯化铜、碱式碳酸铜、碳酸铜或氧化铜中的一种或者多种;所述的二价铜离子的质量浓度为 15~60g/L。
3.如权利要求2所述的高铜含量的有机酸超粗化微蚀液,其特征在于,所述的有机酸选自甲酸、乙酸、苹果酸、柠檬酸、酒石酸、乙二胺四乙酸、亚氨基二琥珀酸中的至少一种;所述的有机酸的质量浓度为20~160g/L。
4.如权利要求3所述的高铜含量的有机酸超粗化微蚀液,其特征在于,所述的氯离子源选自氢氯酸、氯化钠、氯化钙、氯化钾、氯化锌、氯化铁、氯化铝、氯化铜和氯化铵中的至少一种。
5.如权利要求4所述的高铜含量的有机酸超粗化微蚀液,其特征在于,所述的络合剂包括无机铵和/或其盐;所述的无机铵选自氨水、氯化铵、甲酸铵、醋酸铵中的至少一种。
6.如权利要求5所述的高铜含量的有机酸超粗化微蚀液,其特征在于,所述的络合剂还包括含有咪唑烷酮环的化合物;所述的含有咪唑烷酮环的化合物由以下通式表示:
;
式中,R1、R2为相同或者不同的H、碳原子数为1-4个的烷基或者含有选自下组官能团的烷基:羟基、氨基、酰基、酰胺基;所述的络合剂中含有咪唑烷酮环的化合物与无机铵和/或其盐的质量比为1:(2~20);所述的络合剂的质量浓度为5~85g/L。
7.如权利要求6所述的高铜含量的有机酸超粗化微蚀液,其特征在于,所述的多羟基的化合物选自丙三醇、甲基丙三醇、季戊四醇、木糖醇、山梨醇、果糖醇、葡萄糖、葡萄酸酸钠、没食子酸、多糖、聚乙烯醇中的至少一种;所述的多羟基化合物的质量浓度为0.0005~0.5g/L。
8.如权利要求7所述的高铜含量的有机酸超粗化微蚀液,其特征在于,所述的水溶性聚合物为分子链中含胺基、季铵盐或者含氮杂环官能团的聚合物,所述的水溶性聚合物选自聚乙烯亚胺及其盐、聚二甲基二烯丙基氯化铵及其共聚物、二氨基脲聚合物、聚乙烯基吡啶及其盐、乙烯基吡啶与乙烯吡咯烷酮共聚物中的至少一种。
9.如权利要求8所述的高铜含量的有机酸超粗化微蚀液,其特征在于,所述的水溶性聚合物的分子量为2000~500000;所述的水溶性聚合物的质量浓度为0.001~0.2g/L。
10.一种印刷线路板超粗化方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:除油;S2:水洗;S3:微蚀;S4:水洗;S5:酸洗;S6:烘干;所述的除油步骤选用3%-5%的HCl的溶液在25℃-35℃的条件下清洗10s-15s;所述的微蚀步骤为采用如权利要求1-9任一项所述的高铜含量的有机酸超粗化微蚀液蚀刻印刷线路板;所述的蚀刻方式为浸泡方式或水平喷淋方式。
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