[发明专利]一种带有终止结构的氮化镓功率半导体在审
申请号: | 202210583160.8 | 申请日: | 2022-05-25 |
公开(公告)号: | CN115020470A | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 刘一锋 | 申请(专利权)人: | 绍兴芯能光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/20;H01L23/00;H01L23/12;H01L23/16;H01L23/367;H01L23/373 |
代理公司: | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人: | 张彦 |
地址: | 312000 浙江省绍兴市越*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 终止 结构 氮化 功率 半导体 | ||
1.一种带有终止结构的氮化镓功率半导体,其特征在于,包括支架(3)、功率半导体主体(6)、衬板(16)和截止环(18),所述支架(3)的顶端设置有功率半导体主体(6),且所述功率半导体主体(6)内部的底端设置有衬板(16),所述功率半导体主体(6)内部的中央位置处设置有漂移区(15),且所述漂移区(15)的顶侧设置有介质层(12),所述介质层(12)与漂移区(15)之间的一端设置有主结(10),且所述介质层(12)与漂移区(15)之间的中央位置处均匀分布有分压环(11),所述介质层(12)与漂移区(15)之间的另一端设置有截止环(18),且所述介质层(12)的顶侧设置有钝化层(14),所述钝化层(14)与介质层(12)之间设置有金属层(13),所述支架(3)顶部的两端分别设置有第一引脚(4)和第二引脚(7),所述功率半导体主体(6)上均匀通过导线(5)与第一引脚(4)和第二引脚(7)连接,所述支架(3)的底端设置有散热板(2),且所述散热板(2)的上方注塑有塑封体(8)。
2.根据权利要求1所述的一种带有终止结构的氮化镓功率半导体,其特征在于:所述塑封体(8)为环氧树脂,所述第一引脚(4)和第二引脚(7)均延伸至塑封体(8)外。
3.根据权利要求1所述的一种带有终止结构的氮化镓功率半导体,其特征在于:所述散热板(2)为石墨板,且所述散热板(2)的底部均匀开设有导热槽(201)。
4.根据权利要求1所述的一种带有终止结构的氮化镓功率半导体,其特征在于:所述支架(3)底部的两侧均设置有水平部(9),且所述水平部(9)的底部均通过绝缘粘合剂与散热板(2)连接。
5.根据权利要求1所述的一种带有终止结构的氮化镓功率半导体,其特征在于:所述塑封体(8)底部的四个拐角处均设置有支脚(1),且所述支脚(1)的内部均通过刚性弹簧(22)设置有受压件(20),所述受压件(20)的顶端均与塑封体(8)的底部固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种带有终止结构的氮化镓功率半导体,其特征在于:所述漂移区(15)与截止环(18)之间刻蚀以形成凹部(17),所述钝化层(14)伸入该凹部(17)内。
7.根据权利要求1所述的一种带有终止结构的氮化镓功率半导体,其特征在于:所述衬板(16)侧壁的内部设置有加强层(25),且所述加强层(25)的内部等间距分布有加强筋(26)。
8.根据权利要求5所述的一种带有终止结构的氮化镓功率半导体,其特征在于:所述受压件(20)底部的两端均设置有限位块(19),所述支脚(1)内部的两侧均设置有与限位块(19)相匹配的限位槽(21)。
9.根据权利要求7所述的一种带有终止结构的氮化镓功率半导体,其特征在于:所述加强层(25)两侧的衬板(16)内均设置有抗压层(23),且所述抗压层(23)的内部均匀设置有缓冲件(24),所述缓冲件(24)的截面均呈弧形结构。
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