[发明专利]用带电粒子束进行液体成形

权利要求书

1.一种用于制备和/或处理样品的方法，其中：

所述样品包括至少一种流体；并且

所述方法包括将带电粒子束引导到所述至少一种流体上并且响应于所述带电粒子束被引导到所述至少一种流体上而使所述至少一种流体流动。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一种流体包括电导体，并且所述至少一种流体包括离子液体。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述样品进一步包括多个传导元件，并且其中两个传导元件包括电极，使得一个传导元件包括阳极并且另一个传导元件包括阴极。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述方法进一步包括提离（lift-out）步骤，其中所述提离步骤包括从多个对应的块状样品中铣削和去除所述多个传导元件。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述方法进一步包括转移步骤，其中所述样品包括衬底，并且其中所述转移步骤包括将所述多个传导元件中的任何传导元件转移到所述衬底上。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述衬底包括样品固持器，所述样品固持器包括多个臂，所述多个臂各自被配置成向所述多个传导元件中的至少一个传导元件提供传导接触，并且其中所述转移步骤进一步包括将任何传导元件转移到所述样品固持器的所述多个臂中的任何臂上，并且其中所述方法进一步包括响应于所述带电粒子束被引导到所述至少一种流体上而监测所述至少一种流体的所述流动，其中监测所述至少一种流体的所述流动进一步包括将所述多个臂中的每个臂连接到电压源，使得能够在所述多个臂中的任何两个臂之间产生非零电位差，并且一旦在所述阳极与所述阴极之间测得非零电流，就停止所述两个传导元件之间的所述至少一种流体的所述流动。

7.根据权利要求3所述的方法，其中所述两个传导元件被定位成彼此相距大于1 nm的距离，并且其中所述至少一种流体响应于所述带电粒子束被引导到其上的所述流动的结果包括将所述流体的至少一部分转移到所述样品的区域，其中所述区域对应于所述两个传导元件之间的间隙。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法进一步包括响应于所述带电粒子束被引导到所述至少一种流体上而监测所述至少一种流体的所述流动，其中监测所述至少一种流体的所述流动进一步包括对所述样品进行成像。

9.一种包括扫描显微镜系统和数据处理系统的系统，其中所述系统被配置成制备和/或处理样品，其中所述样品包括至少一种流体，并且其中所述系统被配置成将带电粒子束引导到所述至少一种流体上并且响应于所述带电粒子束被引导到所述至少一种流体上而使所述至少一种流体流动。

10.根据权利要求9所述的系统，其中所述系统，具体地为所述扫描显微镜系统，包括被配置成引导和/或聚焦所述带电粒子束的电光系统，并且其中所述系统，具体地为所述数据处理系统，被进一步配置成控制所述电光系统，并且其中所述数据处理系统被配置成通过控制所述电光系统来控制所述带电粒子束的方向和/或焦点。

11.根据权利要求10所述的系统，其中所述系统，具体地为所述扫描显微镜系统，被配置成使所述带电粒子束跨所述至少一种流体遍及一个、两个或三个维度上的多个扫描位置进行扫描，并且其中使所述带电粒子束跨所述至少一种流体遍及所述扫描位置进行扫描的结果包括所述带电粒子束与所述至少一种流体的相互作用。

12.根据权利要求11所述的系统，其中所述系统，具体地为所述扫描显微镜系统，被进一步配置成通过检测由所述带电粒子束与所述至少一种流体的所述相互作用产生的发射来对所述样品进行成像，并且其中所述系统被配置成在显示器上显示样品图像并且允许基于所显示的所述图像监测所述至少一种流体的所述流动。

13.一种非暂时性计算机可读指令，其在根据权利要求9到12中任一项所述的数据处理系统上运行时使根据权利要求9到12中任一项所述的扫描显微镜系统执行根据权利要求1到8中任一项所述的方法。