[发明专利]半导体工艺设备及其上电极机构

权利要求书

1.一种半导体工艺设备的上电极机构，其特征在于，包括：电源装置、馈入组件及调节组件；

所述馈入组件包括有引入杆、引入板及连接杆，所述引入杆的两端分别与所述电源装置及所述引入板连接，并且所述引入杆与所述引入板同轴设置；多个所述连接杆围绕所述引入杆的轴线均匀分布，并且每个所述连接杆的一端通过所述调节组件与所述引入板选择性连接，另一端用于与靶材连接；

所述调节组件包括有多个调节块，多个所述调节块与多个所述连接杆一一对应设置，用于选择性将所述连接杆与所述引入板连接，以使所述引入板能通过所述连接杆向所述靶材提供功率。

2.如权利要求1所述的上电极机构，其特征在于，所述馈入组件还包括有支撑套筒，所述支撑套筒的一端用于安装所述引入板，并且引入板与所述支撑套筒绝缘设置，所述支撑套筒的另一端用于安装所述靶材；多个所述连接杆穿设于所述支撑套筒的侧壁内。

3.如权利要求2所述的上电极机构，其特征在于，所述支撑套筒内形成有沿径向延伸设置的隔板，所述隔板上开设有与所述支撑套筒偏心设置的安装孔，用于安装磁控管装置的传动部件；并且位于所述安装孔处的多个连接杆不通过所述调节块与所述引入板连接。

4.如权利要求2所述的上电极机构，其特征在于，多个所述调节块环绕设置于所述支撑套筒的外周，并且所述调节块的第一端与所述引入板连接，所述调节块的第二端伸入所述支撑套筒的侧壁内与所述连接杆连接。

5.如权利要求4所述的上电极机构，其特征在于，所述支撑套筒顶端的周壁开设有多个安装槽，所述安装槽用于裸露所述连接杆的部分周壁，所述调节块的第二端位于所述安装槽内，且与所述连接杆的周壁连接。

6.如权利要求5所述的上电极机构，其特征在于，所述调节组件还包括有紧固件，所述调节块的第一端通过所述紧固件与所述引入板的周缘连接；所述调节块的第二端通过所述紧固件与所述连接杆的周壁连接。

7.如权利要求2所述的上电极机构，其特征在于，所述馈入组件还包括有绝缘环及引入环，所述绝缘环位于所述支撑套筒与所述引入板之间，所述连接杆的一端与所述绝缘环固定连接；所述引入环位于所述支撑套筒与所述靶材之间，所述连接杆的另一端与所述引入环连接，用于通过所述引入环向所述靶材提供功率。

8.如权利要求7所述的上电极机构，其特征在于，所述绝缘环为一体成形或者为多个规格相同的弧形板间隔排布构成。

9.如权利要求1至8的任一所述的上电极机构，其特征在于，所述连接杆的横截面为圆形或者正多边形。

10.如权利要求1至8的任一所述的上电极机构，其特征在于，所述电源装置包括匹配器、第一连接片、滤波盒、第二连接片、射频电源及直流电源，所述射频电源依次通过所述匹配器及所述第一连接片与所述引入杆连接，用于向所述靶材提供射频功率；所述直流电源通过所述滤波盒及所述第二连接片与所述第一连接片连接，并且通过所述第一连接片与所述引入杆连接，用于向所述靶材提供直流功率。

11.如权利要求3所述的上电极机构，其特征在于，所述磁控管装置还包括磁控管、电机及绝缘联轴器，所述磁控管位于所述隔板的下方，所述传动部件设置于所述安装孔中，并且与所述磁控管传动连接；所述绝缘联轴器设置于所述引入板上，所述电机通过所述绝缘联轴器与所述传动部件连接。

12.如权利要求11所述的上电极机构，其特征在于，所述上电极机构还包括屏蔽套筒及屏蔽板，所述屏蔽套筒套设于所述支撑套筒的外围；所述屏蔽板盖合于所述屏蔽套筒的顶端，并且通过绝缘块固定于所述引入板的顶面，所述引入杆穿过所述屏蔽板与所述引入板连接，所述电机穿过所述屏蔽板与所述绝缘联轴器连接。