[发明专利]一种超薄柔性导电复合薄膜的制备方法及装置

权利要求书

1.一种超薄柔性导电复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将聚合物薄膜置于卷绕系统上，启动放卷辊放卷，同时收卷辊收卷，使聚合物薄膜持续地由放卷辊转运至收卷辊；

S2：对转运中的聚合物薄膜进行红外热辐射活化处理；

S3：对转运中的聚合物薄膜进行离子源预处理，对薄膜表面进行清洁和改性；

S4：对经过前述两步预处理的聚合物薄膜进行溅射镀膜；

S5：经过溅射镀膜后的聚合物薄膜经收卷辊收卷后转置于电镀加厚工段，进行电镀加厚处理，包括酸洗及电镀加厚，当聚合物薄膜厚度达到目标要求后，继续进行电镀后处理，包括水洗、电镀防氧化层、再水洗、烘干；

S6：覆膜并收卷，得到超薄柔性导电复合薄膜成品。

2.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述S1中聚合物薄膜为由聚酰亚胺、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚四氟乙烯、聚丙烯腈等组分中的一种或几种形成的薄膜，厚度范围为2～150μm；所述S6中的覆膜为聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚酯等组分中的一种或几种形成的薄膜，厚度范围为12～50μm，所述聚合物薄膜在所述收卷辊与放卷辊之间所受的张力设置范围为10～80kg。

3.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述S2中的热辐射预处理为通过红外加热器对所述聚合物薄膜表面进行热辐射，所述红外加热器的红外线波长范围为0.8～1000μm，与聚合物薄膜的距离为50～200mm，所述红外加热器工作功率为0.2～5KW，热辐射预处理的处理时间为5～30s。

4.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述S3中的离子源预处理所用的离子源种类包括霍尔离子源、阳极层离子源、考夫曼离子源，ICP离子源，或是具有类似处理效果的电弧预处理、电晕预处理、电浆轰击预处理，所用的气体为氩气、氮气、氧气、一氧化二氮、二氧化碳或一氧化碳，所述气体流量控制范围为200～2000sccm。

5.根据权利要求1所述的一种超薄柔性导电复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述S3中分段进行至少两层金属溅射镀膜，并通过控制溅射过程中辊系的温度调控镀膜结合力，其中第一层金属层溅射镀膜辊系的温度控制范围为-15～120℃，第二层金属层溅射镀膜辊系的温度控制为-10～80℃。

6.一种超薄柔性导电复合薄膜的制备装置，使用了权利要求1～5中任意一种超薄柔性导电复合薄膜的制备方法，其特征在于，作为原材料的聚合物薄膜依次通过设于一个密封壳体内的放卷仓(11)、预处理仓(12)、溅射仓(13)及收卷仓(14)，完成溅射镀膜后转置至电镀加厚工段(15)，最后制备为超薄柔性导电复合薄膜并覆膜收卷于收卷辊二；

所述放卷仓(11)内设有放卷辊(1)、张力辊(2)及过渡辊(3)，所述聚合物薄膜卷绕在所述放卷辊(1)上通过张力辊(2)及过渡辊(3)持续向预处理仓(12)转运；所述聚合物薄膜的两面在所述预处理仓(12)及溅射仓(13)中依次通过所述热辐射模块(4)、离子源处理模块(5)、第一金属层溅射模块(7)及第二金属层溅射模块(9)的工作范围；

所述收卷仓(14)内设有收卷辊(10)、张力辊(2)及过渡辊(3)，用于将完成溅射镀膜的复合薄膜收卷；

所述完成溅射镀膜的复合薄膜通过人工转置于放卷辊二(16)上，经过所述电镀加厚工段(15)处理后形成超薄柔性导电复合薄膜，所述超薄柔性导电复合薄膜与覆膜辊提供的覆膜挤压为成品，并通过收卷辊二收卷；

所述预处理仓(12)及溅射仓(13)中分别设有保证仓内真空度抽真空装置。