[发明专利]MEMS装置和电子设备

权利要求书

1.一种MEMS装置，其特征在于，包括：

基底和设置于所述基底上的振动组件；

所述振动组件包括背极板和第一振膜，所述第一振膜位于所述背极板的第一侧；

所述背极板的中心位置处设置有第一通孔，所述第一振膜具有工作区和非工作区；

其中，所述工作区被配置为能够通过振动实现所述第一振膜的声学性能；所述非工作区位于与所述第一通孔相对的位置处，且所述非工作区设置有多个微孔。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS装置，其特征在于，在所述第一振膜的至少位于所述非工作区的位置处设置有疏水涂层，所述疏水涂层采用疏水材料涂覆而成。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS装置，其特征在于，所述基底上具有与所述第一振膜形成的腔体结构，所述疏水涂层位于所述第一振膜上远离于所述背极板的一侧，并延伸至所述腔体结构的内表面。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS装置，其特征在于，在靠近于所述第一振膜边缘的位置处设置有绝缘隔离带，所述工作区和所述非工作区均位于所述绝缘隔离带的内侧，且所述工作区能够与外部电路连接。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS装置，其特征在于，所述非工作区在所述背极板上的投影与所述第一通孔重合。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS装置，其特征在于，所述振动组件还包括第二振膜，所述第二振膜位于所述背极板的第二侧；

所述第二振膜上设置有第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相对设置。

7.根据权利要求6所述的一种MEMS装置，其特征在于，所述振动组件还包括连接结构，所述连接结构用于连接所述第一振膜和所述第二振膜，使所述第一振膜与第二振膜的振动状态一致。

8.根据权利要求7所述的一种MEMS装置，其特征在于，所述连接结构包括筒状的连接件，筒状的所述连接件穿过所述第一通孔，将所述背极板封装在所述第一振膜和所述第二振膜之间。

9.根据权利要求8所述的一种MEMS装置，其特征在于，所述连接结构包括多个连接柱，所述背极板还具有多个透气孔；

每个所述连接柱穿过其中一个所述透气孔连接于所述第一振膜和所述第二振膜之间。

10.一种电子设备，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的MEMS装置。