[发明专利]冷压焊型金属封装外壳及其制作工艺在审
申请号: | 202210590299.5 | 申请日: | 2022-05-27 |
公开(公告)号: | CN115050704A | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 张凤伟;冯东;唐正生;宁峰鸣 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 |
主分类号: | H01L23/06 | 分类号: | H01L23/06;H01L23/10;H01L21/48 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 张梦媚 |
地址: | 230088 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷压焊型 金属 封装 外壳 及其 制作 工艺 | ||
1.一种冷压焊型金属封装外壳,其特征在于,包括:
底盘,所述底盘形成有内腔,所述底盘为无氧铜和可伐的复合材料,所述底盘的外表面为无氧铜,所述内腔为可伐材料;
过渡环,所述过渡环设于所述内腔的表面;
玻璃绝缘子,所述玻璃绝缘子设于所述过渡环远离所述内腔的表面,其中,所述玻璃绝缘子的材质为硼硅玻璃;
引线,所述引线插设于所述玻璃绝缘子中;
以及盖帽,所述盖帽为无氧铜材质,其通过冷压焊工艺与所述底盘封装。
2.如权利要求1所述的冷压焊型金属封装外壳,其特征在于,所述过渡环具有帽缘,所述过渡环的帽缘与所述底盘的间隙为0.05-0.10mm,且所述过渡环的外径与所述底盘的内径间隙为0.30-0.50mm。
3.如权利要求1所述的冷压焊型金属封装外壳,其特征在于,所述底盘的厚度为0.30±0.1mm,其中,无氧铜的厚度占复合材料的25%-45%。
4.如权利要求1所述的冷压焊型金属封装外壳,其特征在于,所述过渡环与所述内腔同为可伐材料,所述可伐材料选自4J29或4J42。
5.如权利要求1所述的冷压焊型金属封装外壳,其特征在于,所述硼硅玻璃的热膨胀系数4.5-6.4×10-6/℃。
6.如权利要求1所述的冷压焊型金属封装外壳,其特征在于,所述底盘、过渡环和引线表面形成有氧化层,所述氧化层的厚度为1-4μm。
7.一种如权利要求1-6任一项所述的冷压焊型金属封装外壳的制作工艺,其特征在于,包括以下步骤:
加工形成底盘和过渡环;
对底盘、过渡环和引线依次进行表面净化、脱碳和预氧化处理;
将底盘、过渡环、玻璃绝缘子和引线预装配后,熔封,形成金属外壳半成品;
将所述金属外壳半成品表面镀覆金属层后,与盖帽进行冷压焊,获得冷压焊型金属外壳。
8.如权利要求7所述的制作工艺,其特征在于,所述盖帽在成型过程中采用多步拉伸。
9.如权利要求8所述的制作工艺,其特征在于,所述多步拉伸的工艺具体为:第一步拉伸系数0.45-0.55,并用脱料板固定压料;凸模圆角半径取2.0-2.5mm,凹模圆角半径取1.0-1.5mm;拉伸间隙1.2T以上;后一步拉伸系数较前一步拉伸系数大,最后一步的拉伸系数在0.9以上。
10.如权利要求7所述的制作工艺,其特征在于,所述冷压焊在没有外部热源或电流作用的室温下进行,且对工件施加30-45Pa的压强实现固态焊接。
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