[发明专利]一种用于精准测试防污涂层磨蚀厚度的测量方法及测量装置

权利要求书

1.一种用于精准测试防污涂层磨蚀厚度的测量方法，其特征在于，提供一测量装置(10)，其包括用以涂装涂层(110)的样板盘(100)、旋转台(300)、设置于旋转台(300)上方的3D扫描显微镜(500)以及控制系统(600)；

所述旋转台(300)与样板盘(100)可拆卸连接，用以带动样板盘(100)旋转；且所述旋转台(300)与3D扫描显微镜(500)之间通过设置位置调节机构以使二者相对位置可调整；所述控制系统(600)与3D扫描显微镜(500)、位置调节机构、旋转台(300)连接用以控制其运行状态；控制系统(600)具有显示和控制功能，其内置图像自动拼接程序和旋转台控制程序；

测量方法包括以下步骤：

S100、将涂装有涂层(110)的样板盘(100)固定到旋转台(300)上；

S200、打开控制系统(600)，通过图像自动拼接程序进行涂层扫描模式参数设置，通过旋转台控制程序进行旋转参数设置：

S210、通过涂层扫描模式参数设置，设置单条涂层(110)待检测区的扫描拼接方式和设定拼接起始位置，由位置调节机构对涂层(110)的扫描拼接区域进行定位，所述扫描拼接区域覆盖单条涂层(110)的对照面和涂层(110)面；

S220、通过设置的旋转角度参数、旋转重复间隔时间参数以及旋转重复次数参数，由旋转台(300)对3D扫描显微镜(500)扫描多条涂层(110)的路径进行定位，以使3D扫描显微镜(500)对多条涂层(110)进行逐一扫描；

S300、测试时，所述3D扫描显微镜(500)扫描完第一条涂层(110)后，所述旋转台(300)自动旋转至第二条涂层(110)，3D扫描显微镜(500)自动进行第二条涂层(110)扫描，重复以上步骤直至所有涂层(110)测试完毕；

S400、通过控制系统(600)进行数据信息分析，得到涂层(110)厚度结果。

2.根据权利要求1所述的用于精准测试防污涂层磨蚀厚度的测量方法，其特征在于：所述测量装置(10)还包括连接盘(200)；所述连接盘(200)与旋转台(300)固定连接，所述样板盘(100)与连接盘(200)通过第一连接结构可拆卸连接；

所述S100中，将样板盘(100)通过第一连接结构与连接盘(200)连接，使得样板盘(100)固定到旋转台(300)上，以使所述旋转台(300)带动连接盘(200)旋转来带动样板盘(100)旋转。

3.根据权利要求2所述的用于精准测试防污涂层磨蚀厚度的测量方法，其特征在于：所述样板盘(100)上设有若干定位孔(130)，所述连接盘(200)上设有与之适配的若干定位凸块(220)；

所述S100中，将连接盘(200)上的定位凸块(220)对应嵌入样板盘(100)上的定位孔(130)中，而后通过第一连接结构将样板盘(100)与连接盘(200)连接。

4.根据权利要求1所述的用于精准测试防污涂层磨蚀厚度的测量方法，其特征在于：所述位置调节机构为X-Y轴移动平台(400)；

所述旋转台(300)安设于X-Y轴移动平台(400)上，所述X-Y轴移动平台(400)带动旋转台(300)移动，以带动样板盘(100)于3D扫描显微镜(500)下方移动。

5.根据权利要求4所述的用于精准测试防污涂层磨蚀厚度的测量方法，其特征在于：所述X-Y轴移动平台(400)的行程范围大于所述样板盘(100)的旋转中心至样板盘(100)边缘的最远距离。

6.根据权利要求1所述的用于精准测试防污涂层磨蚀厚度的测量方法，其特征在于：所述旋转台(300)的旋转精度≤0.01°。

7.根据权利要求1所述的用于精准测试防污涂层磨蚀厚度的测量方法，其特征在于：所述3D扫描显微镜(500)的Z轴光学分辨率≤0.10μm，X轴光学分辨率≤2.0μm，Y轴光学分辨率≤2.0μm；且其扫描方式为白光干涉、相位干涉、共聚焦、融合共聚焦、焦面叠加方式中的一种或多种组合。