[发明专利]一种用于评估半导体设备制造产能的分析系统

说明书

本发明提供了一种用于评估半导体设备制造产能的分析系统，包括：产品进出时间获取模块、生产时长计算模块、产能评估模块、信息关联标注模块、影响产能提升因素分析模块；其中，产品进出时间获取模块获取各类型产品在半导体设备中的各生产单元的进出时间；生产时长计算模块根据进出时间计算出各类型产品在设备的生产单元中所需要的生产时长；产能评估模块根据生产时长评估出各产品在该半导体设备的预估产能；信息关联标注模块将产品类型、设备、生产制程、该制程下设备中的生产单元、生产时长、已知稳定产能、预估产能、实际产能进行关联标注；影响产能提升因素分析模块基于关联标注后的信息数据分析出是否有影响产能的关键生产单元。

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种用于评估半导体设备制造产能的分析系统。

背景技术

半导体集成电路制造过程中半导体前导、封装、测试等阶段的产能评估对于半导体生产是极其重要的。精确的产能预测及产能差异的原因分析是困扰生产管理者的关键问题，产能问题跟设备本身硬件相关，也和制造工艺有这密切的关联。半导体生产工段众多，半导体设备中包括若干个生产单元，快速精确的评估设备产能以及寻找设备产能异常的根本原因是对生产管理者的重大挑战，也影响着半导体制造的成本和利润的关键指标。

半导体制造中产能的计算依赖于手动获取设备生产日志，通过日志人工分析各个设备的产能，并对整个产线的设备做逐个计算，最终获得产能数据和影响产能的关键设备和制程站点。繁琐的传统分析方法耗费大量的人工分析时间，随着半导体制造自动化程度越来越高，生产中的数据量越来越大，传统的分析方法已经无法满足快速的生产规划需求。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种用于评估半导体设备制造产能的分析系统。

本发明提供了一种用于评估半导体设备制造产能的分析系统，其特征在于，包括：产品进出时间获取模块、生产时长计算模块、产能评估模块、信息关联标注模块、影响产能提升因素分析模块；其中，产品进出时间获取模块获取各类型产品在半导体设备中的各生产单元的进出时间；生产时长计算模块根据进出时间计算出各类型产品在设备的生产单元中所需要的生产时长；产能评估模块根据生产时长评估出各产品在该半导体设备的预估产能；信息关联标注模块将产品类型、设备、生产制程、该制程下设备中的生产单元、生产时长、已知稳定产能、预估产能、实际产能进行关联标注；影响产能提升因素分析模块基于关联标注后的信息数据分析出是否有影响产能的关键生产单元。

进一步，在本发明提供的用于评估半导体设备制造产能的分析系统中，还可以具有这样的特征：其中，生产时长计算模块通过如下公式计算产品在设备的生产单元Xi中的所需要的生产时长：

t_i＝产品出生产单元X_i的时间点-产品进入生产单元X_i的时间点。

进一步，本发明提供了一种用于评估半导体设备制造产能的分析系统，具有这样的特征，包括：产能评估模块通过通过PLS算法获得预估产能，包括如下步骤流程：

1)建立该产品的已知稳定产能Y_b与所有n个生产单元X_i对应的生产时间t_i的PLS模型关系，该模型关系表示为:

稳定产能Y_b＝f(t₁，t₂，t₃，...，t_i，...，t_n)，其中f(*)表示PLS模型关系；

2)根据模型关系，输入预估产品p的生产时长，得出该产品的预估产能Yp：