[发明专利]一种基于晶圆背面金属化蒸镀的防止金属镀层异常的方法在审
| 申请号： | 202210596451.0 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN115558900A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 叶顺闵;林伯璋;蔡孟霖;许邦泓;萧维彬 | 申请（专利权）人： | 滁州钰顺企业管理咨询合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/30;H01L21/48 |
| 代理公司： | 北京七夏专利代理事务所(普通合伙) 11632 | 代理人： | 刘毓珍 |
| 地址： | 239200 安徽省滁*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 背面 金属化 防止 金属 镀层 异常 方法 | ||
1.一种基于晶圆背面金属化蒸镀的防止金属镀层异常的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、根据靶材类型确定靶材容器；
S2、检查靶材放入靶材容器的位置是否正确；
S3、判断靶材添加是否有误；
S4、根据靶材类型调节蒸镀制程加热功率；
S5、进行晶圆背面金属化蒸镀制程。
2.如权利要求1所述的一种基于晶圆背面金属化蒸镀的防止金属镀层异常的方法，其特征在于：所述步骤S1，若靶材类型为钛与镍，则以钨铜合金坩埚为靶材容器；若靶材类型为银与锡，则以钼衬锅和钨铜合金坩埚为靶材容器，所述钼衬锅放于钨铜合金坩埚内，所述靶材放于钼衬锅里。
3.如权利要求1所述的一种基于晶圆背面金属化蒸镀的防止金属镀层异常的方法，其特征在于，所述步骤S3，通过有无磁性或者形状大小进行判断区分。
4.如权利要求1所述的一种基于晶圆背面金属化蒸镀的防止金属镀层异常的方法，其特征在于：所述步骤S4，若靶材类型为银，则蒸镀制程加热功率设定在10％～15％；若靶材类型为锡，则蒸镀制程加热功率设定在5％～10％；若靶材类型为钛，则蒸镀制程加热功率设定在20％～30％；若靶材类型为镍，则蒸镀制程加热功率设定在20％～30％。
5.如权利要求1所述的一种基于晶圆背面金属化蒸镀的防止金属镀层异常的方法，其特征在于：所述步骤S5前，需确认熔锭时靶材上是否有漂浮物，若漂浮物为杂质，杂质占据靶材面积的10％，则需更换靶材。
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