[发明专利]一种具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫

权利要求书

1.一种具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，其特征在于，所述抛光垫表面分布突出块，每个突出块上设置小图案，组成复合结构表面图案；

每个所述突出块上设置有沿抛光垫半径方向密度不同的小图案，任一半径上绕抛光垫半径切向的小图案之间的间隙为[(2-2.25)(r₀/R)*e]，不同半径之间的小图案的间隙相等，其中R为抛光垫半径，e为单个小图案的等效长度，单个小图案的等效长度为直线穿过小图案的最大长度，r₀为任一小图案所在层的半径；

所述抛光垫表面的突出块以抛光垫圆心为辐点呈辐射状向四周发散分布，突出块在抛光垫半径方向上相邻层的间隙均等，最外侧层突出块个数为N=2πR/(3-3.5)q，任一层的突出块个数为n=N*R/r，且同一层的突出块绕抛光垫圆心均匀分布，其中R为抛光垫半径，r为任一层的半径，N为最外侧半径突出块个数，q为突出块等效长度，突出块等效长度为直线穿过突出块的最大长度。

2.根据权利要求1所述的具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，其特征在于，所述突出块在半径方向相邻层的间隙为4-8mm。

3.根据权利要求1或2所述的具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，其特征在于，所述抛光垫上单个突出块的面积为60-150 mm²，单个突出块的高度为6-12 mm。

4.根据权利要求3所述的具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，其特征在于，所述突出块形状为正三角形、正方形、正五边形、正六边形、圆形中一种或多种的组合。

5.根据权利要求1所述的具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，其特征在于，所述突出块上的小图案在抛光垫半径方向上相邻层的间隙为1-2.5 mm。

6.根据权利要求1或5所述的具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，其特征在于，所述突出块上的小图案形状根据抛光工件要求设置。

7.根据权利要求6所述的具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，其特征在于，所述突出块上的小图案形状为三角形、正方形、正五边形、正六边形、圆形一种或多种的组合。

8.根据权利要求7所述的具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，其特征在于，所述突出块上的小图案面积为1-4 mm²，高度为0.4-0.7 mm。

9.根据权利要求7所述的具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，其特征在于，所述抛光垫上的突出块形状与所述突出块上的小图案形状为一对一、一对多、多对多的多种形状组合。