[发明专利]一种反射镜面形控制结构及光束线装置

权利要求书

1.一种反射镜面形控制结构，其特征在于，包括镜体及冷却模组；

所述镜体设有反射面及冷却槽，所述反射面和所述冷却槽均沿所述镜体的长度方向延伸，所述冷却槽的开口朝上，所述冷却槽内填设有冷却液体，所述反射面用于反射光束；

所述冷却模组包括冷却组件、多个冷却板及多个导热控制机构，所述冷却组件用于外接供冷装置，多个所述冷却板沿所述冷却槽的长度方向分布，每个所述冷却板与所述冷却组件之间均设有所述导热控制机构，所述导热控制机构用于使所述冷却组件通过相应的所述冷却板与所述冷却液体进行热量交换。

2.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述冷却板与所述冷却组件为接触配合，所述导热控制机构用于驱动所述冷却板沿竖直方向移动，以使所述冷却板可插入或拔出所述冷却液体中。

3.根据权利要求2所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述导热控制机构包括电磁铁及永磁铁，所述电磁铁设置于所述冷却组件，所述永磁铁设置于所述冷却板远离所述冷却液的一端，且所述电磁铁位于所述永磁铁的上方，所述电磁铁与所述永磁铁为磁力配合。

4.根据权利要求2所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述导热控制机构为直线机构，所述直线机构连接所述冷却组件和所述冷却板，用于驱动所述冷却板沿竖直方向移动。

5.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述冷却板插入所述冷却液体中，所述导热控制机构用于驱动所述冷却板沿所述冷却槽的宽度方向移动，以使所述冷却板与所述冷却组件分离或接触。

6.根据权利要求5所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述导热控制机构包括电磁铁及永磁铁，所述电磁铁设置于所述冷却组件，所述永磁铁设置于所述冷却板远离所述电磁铁的一侧，所述电磁铁与所述永磁铁为磁力配合。

7.根据权利要求5所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述导热控制机构为直线机构，所述直线机构连接所述冷却组件和所述冷却板，用于驱动所述冷却板沿所述冷却槽的宽度方向移动。

8.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述冷却组件上还设有导热介质，所述导热介质位于所述冷却板与所述冷却组件之间。

9.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述冷却组件包括冷却管部及接触部，所述冷却管部用于外接供冷装置，所述接触部与所述冷却管部连接，所述接触部的长度与所述冷却槽的长度相适配，所述接触部用于与所述冷却板接触配合。

10.一种光束线装置，其特征在于，包括装置本体及如权利要求1-9中任一项所述的反射镜面形控制结构，所述装置本体用于向所述反射面发射X射线，其中，所述装置本体为同步辐射装置或自由电子激光装置。