[发明专利]一种晶体硅生长炉的保温硬毡及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202210616670.0 申请日: 2022-06-01
公开(公告)号: CN114752993A 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 何林洧;黎俊秀;龙晟;侯振华 申请(专利权)人: 佛山市石金科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 代理人: 张晓婷;朱培祺
地址: 528527 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶体 生长 保温 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤S1、将碳纤维剪切成碳纤维丝束,烘干后冷却,将碳纤维丝束吹散至呈丝状;

步骤S2、将碳纤维丝束编织为双向正交的碳纤维毡;

步骤S3、将双向正交的碳纤维毡制作为三向正交的碳纤维毡;

步骤S4、配置混合树脂体系:将混合树脂体系的原料混合搅拌均匀,得到混合树脂体系,所述混合树脂体系的原料包括环氧树脂、添加剂和水;

步骤S5、将碳纤维毡裁剪至所需尺寸;

步骤S6、双面浸入树脂:对碳纤维毡的正反两面分别进行混合树脂体系的浸入,得到预浸料;

步骤S7、将预浸料固定于模具中,烘干后冷却,从模具中取出已固定外形的固化毡制品;

步骤S8、将固化毡制品经过真空高温碳化,得到一种晶体硅生长炉的保温硬毡。

2.根据权利要求1所述的晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法,其特征在于,所述步骤S4中,环氧树脂与添加剂的质量比为100:(1~25),水的添加量占所述混合树脂体系的总质量的1~80%;

所述混合树脂体系的高温残炭率<5%。

3.根据权利要求1所述的晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法,其特征在于,所述碳纤维为黏胶基碳纤维、聚丙烯腈碳纤维和沥青基碳纤维中的一种或多种的组合;

所述添加剂为酸酐类添加剂、酚类添加剂、硫醇类添加剂或胺类添加剂中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法,其特征在于,所述步骤S6中,双面浸入树脂的步骤包括:按照质量份数计算,取三向正交的碳纤维毡100份,混合树脂体系200~800份,对碳纤维毡的正反两面分别浸入100~400份的混合树脂体系,得到预浸料。

5.根据权利要求1所述的晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法,其特征在于,所述步骤S1中,使用切丝设备将碳纤维剪切成长度为10~100mm的碳纤维丝束,在200~250℃的条件下烘干,烘干时间为10~20h。

6.根据权利要求1所述的晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法,其特征在于,所述步骤S2中,将吹散后的碳纤维丝束平铺在成网设备上,编织为双向正交的碳纤维毡,双向正交的碳纤维毡的厚度为4~12mm,密度为0.05~0.10g/cm3

所述步骤S3中,使用编织设备将双向正交的碳纤维毡制作为三向正交的碳纤维毡,三向正交的碳纤维毡的厚度为6~20mm,密度为0.05~0.10g/cm3

7.根据权利要求1所述的晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法,其特征在于,所述步骤S7中,将预浸料固定于模具中,在80~180℃的条件下烘干,烘干时间为5~20h。

8.根据权利要求1所述的晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法,其特征在于,所述步骤S8中,高温碳化的碳化温度为800~1800℃,高温碳化的时间为30~40h。

9.根据权利要求1所述的晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法,其特征在于,所述步骤S8将固化毡制品经过真空高温碳化后,还包括进行尺寸的后加工处理,得到晶体硅生长炉的保温硬毡。

10.一种晶体硅生长炉的保温硬毡,其特征在于,使用如权利要求1~9任意一项所述的晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法制作得到。

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