[发明专利]一种硼硅玻璃的键合方法

权利要求书

1.一种硼硅玻璃的键合方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，使用光学抛光仪器对玻璃样品进行抛光，并分别使用纯水、乙醇和丙酮进行清洗，得到清洗后的玻璃基片；

步骤2，在通风橱中将玻璃基片放入体积比为7:3的98％浓硫酸和30％双氧水混合液中超声清洗，将经步骤1清洗后的基片放入中超声处理一段时间，进一步去除玻璃基片表面污染物，同时生成Si-OH键使表面亲水，再次使用纯水和乙醇超声清洗一段时间，然后使用氮气枪将其吹干待用；

步骤3，按体积比为NH₄OH:H₂O₂:H₂O＝6:2:2的比例配置氨水活化液，将氨水活化液用针筒滴加在一片待键合的基片表面，将另一片与其贴合后在湿度为70％-90％的湿润环境中静置一段时间，重复此步骤后继续静置待用；

步骤4，将静置后的基片分开，重复步骤3中滴加氨水活化液后继续静置2h；

步骤5，将基片放入真空烘干箱，先升温到100℃保温一段时间,然后继续升温到200℃保温一段时间；

步骤6,随炉冷却到室温，键合完成。

2.根据权利要求1所述的键合方法，其特征在于：

在步骤1中，所述超声清洗的超声功率为40-60W，清洗时间均为5min。

3.根据权利要求1所述的键合方法，其特征在于：

在步骤2中，超声处理5min以上。

4.根据权利要求1所述的键合方法，其特征在于：

在步骤2中，所述的再次使用纯水和乙醇超声清洗3min以上。

5.根据权利要求1所述的键合方法，其特征在于：

在步骤2中，所述的将另一片与其贴合后在湿度为70％-90％的湿润环境中静置2h以上。

6.根据权利要求1至5任一项所述的键合方法，其特征在于：

在步骤5中，将基片放入真空度为100Mbar-200Mbar的真空烘箱内，以2-3℃/min的速率升温至100℃后保温2h以上。

7.根据权利要求6所述的键合方法，其特征在于，再以同样的升温速率继续升温至200℃后保温4h以上。