[发明专利]一种光纤湿度传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202210622700.9 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN114966985B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 余健辉;赖智聪;陈伟栋;张宇;李志斌;钟永春;朱文国;唐洁媛 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293;G01N21/17 |
| 代理公司： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 林伟斌 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 湿度 传感器 及其 制造 方法 | ||
1.一种光纤湿度传感器的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1：将单模光纤加热熔融拉制成双锥形微纳光纤；
S2：在介质衬底上刻蚀出深度为纳米量级的微型槽；
S3：将双锥形微纳光纤的腰部悬空于刻蚀有微型槽的介质衬底上方；
S4：将双锥形微纳光纤两端固定在微型槽两侧。
2.根据权利要求1所述的一种光纤湿度传感器的制造方法，其特征在于：所述双锥形微纳光纤的腰部直径在200nm-2000nm之间。
3.根据权利要求1所述的一种光纤湿度传感器的制造方法，其特征在于：所述双锥形微纳光纤腰部长度在10-50mm。
4.根据权利要求1所述的一种光纤湿度传感器的制造方法，其特征在于：所述微型槽的深度在400nm-2000nm之间。
5.根据权利要求1所述的一种光纤湿度传感器的制造方法，其特征在于：所述微型槽的长宽均在5mm-20mm之间。
6.根据权利要求1所述的一种光纤湿度传感器的制造方法，其特征在于：所述双锥形微纳光纤采用紫光胶固定在微型槽两侧呈悬空状态，且与微型槽所在的介质衬底之间形成调制空间，所述紫光胶的折射率小于双锥形微纳光纤纤芯折射率。
7.根据权利要求1所述的一种光纤湿度传感器的制造方法，其特征在于：所述介质衬底采用二氧化硅材料。
8.一种如权利要求1-7任一项所述光纤湿度传感器制造方法制得的光纤湿度传感器，其特征在于：包括介质衬底和双锥形微纳光纤；
介质衬底：具有耦合倏逝场的微型槽，所述微型槽的深度在纳米量级；
双锥形微纳光纤：悬空于微型槽上方，与微型槽所在的介质衬底之间形成调制空间；
信号光从双锥形微纳光纤一端输入，在其腰部外壁产生倏逝场后从另一端输出，倏逝场耦合入微型槽的底部，使双锥形微纳光纤输出的信号光功率降低；倏逝场最大横向强度衰减范围略大于微型槽底部到双锥形微纳光纤之间的悬空高度。
9.根据权利要求8所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述介质衬底是载玻片。
10.根据权利要求8所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：采用信号光波长在500nm-2000nm。
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