[发明专利]一种量块尺寸非接触检测装置及方法

权利要求书

1.一种量块尺寸非接触检测装置，其特征在于：包括：左侧显微成像系统、右侧显微成像系统、显微镜固定滑轨、左侧潜望装置、右侧潜望装置、样品定位平台、精密平动平台；

所述的左侧显微成像系统、右侧显微成像系统中均包括显微物镜；

所述的左侧显微成像系统、右侧显微成像系统分别安装于所述显微镜固定滑轨的左侧和右侧，并沿着显微镜固定滑轨滑动；

样品定位平台固定在精密平动平台上，样品定位平台用于放置待测量块；

所述的左侧潜望装置设置于左侧显微成像系统的显微物镜附近，用于将待测量块左侧边界的像折转入左侧显微成像系统；

所述的右侧潜望装置设置于右侧显微成像系统的显微物镜附近，用于将待测量块右侧边界的像折转入右侧显微成像系统。

2.根据权利要求1所述的一种量块尺寸非接触检测装置，其特征在于：左侧显微成像系统以及右侧显微成像系统均由显微物镜和成像CCD组成。

3.根据权利要求1所述的一种量块尺寸非接触检测装置，其特征在于：精密平动平台移动精度小于0.01mm。

4.根据权利要求1所述的一种量块尺寸非接触检测装置，其特征在于：所述样品定位平台包括放置平台与定位基准平面，定位基准平面与放置平台垂直。

5.根据权利要求1所述的一种量块尺寸非接触检测装置，其特征在于：所述左侧潜望装置与右侧潜望装置均由两片平面反射镜构成。

6.根据权利要求1至5之一所述的一种量块尺寸非接触检测装置，其特征在于：左侧显微成像系统与右侧显微成像系统均由显微物镜、显微物镜固定滑块、显微镜调焦装置、成像CCD组成；显微物镜固定滑块用于固定显微物镜，显微物镜固定滑块装配于显微镜固定滑轨上；显微物镜调焦装置用来调节显微物镜的物距。

7.一种量块尺寸非接触检测方法，其特征在于：使用权利要求1至6任一的量块尺寸非接触检测装置进行测量。

8.根据权利要求7所述的一种量块尺寸非接触检测方法，其特征在于：将待测量块和与待测量块尺寸相同规格的标准量块并排放置于样品定位平台上；调节精密平动平台、左侧潜望装置、右侧潜望装置，使得左侧显微成像系统可以采集待测量块与标准量块的左侧边界的清晰图像，使得右侧显微成像系统可以采集待测量块与标准量块的右侧边界的清晰图像；通过对比其左侧边界与右侧边界错开的距离而求解得出待测量块的距离。

9.根据权利要求8所述的一种量块尺寸非接触检测方法，其特征在于：标准量块的长度记为L，其左侧边界与标准量块错开的距离记为Δx₁，其右侧边界与标准量块错开的距离记为Δx₂，待测量块的左侧右侧之间的长度L_x为：Lx=L+Δx₂-Δx₁。

10.根据权利要求9所述的一种量块尺寸非接触检测方法，其特征在于：利用数字图像相关算法计算左侧边界与标准量块错开的距离记为Δx₁以及右侧边界与标准量块错开的距离记为Δx₂。