[发明专利]一种无尘洁净室环境气流智能调控系统

说明书

本申请涉及一种无尘洁净室环境气流智能调控系统，其包括：控制器模块、多个风机过滤机组、环境监测模块和多个区域封闭组件，区域封闭组件包括收纳盒体、放卷杆、防尘透气膜和固定件，收纳盒体顶部嵌设在两个相邻生产区域连通处顶壁内且下端开口，放卷杆转动设置在收纳盒体内；防尘透气膜收卷在放卷杆上，防尘透气膜底部设有连接件；固定件安装在两个相邻生产区域连通处的地面上，用于在防尘透气膜展开时与连接件密封连接对两个相邻生产区域连通处进行封闭；环境监测模块和多个风机过滤机组均与控制器模块连接。本申请具有有效提高生产环境气流管理效率和风机过滤机组使用寿命的效果。

技术领域

本申请涉及洁净室气流调控的领域，尤其是涉及一种无尘洁净室环境气流智能调控系统。

背景技术

洁净室，又称无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪 音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。近十年以来，电子工业洁净室技术在技术和经济上都经历了快速发展。特别是半导体工业和光电产业用高标准洁净室常常成为洁净室技术发展的标志。在此领域内，对产品质量的要求一直在提高，对洁净生产环境的要求也是如此。即使是由各种不同因素造成的最小污染，特别是气流组织不良的环境因素，也会导致高比例的有缺陷产品及废品率。因此，必须将影响产品质量的环境因素降至最小，保证优化生产工艺成本，提升制程良率。

现有的洁净室往往基于生产需求或生产工艺划分为多个生产区域，多个生产区域之间相互连通，各个生产区域通过FFU（风机过滤机组）实现调控洁净室内各个生产区域的洁净度。

在洁净室的实际使用过程中，如部分生产区域处于建设初期时洁净设备未安装完善或者后续使用过程生产区域的FFU故障导致该区域洁净程度下降时，洁净室内与该生产区域相邻的生产区域的环境容易受到该生产区域流通的空气污染，导致相邻生产区域的洁净等级下降，此时往往需要相邻生产区域的FFU提高清洁频率，费时费力且无法有效保证相邻生产区域的洁净度，影响后续生产良率以及风机过滤机组使用寿命。

在实际建造洁净室为了防止上述情况发生，会在无尘室内相邻生成领域连通处设置高密封性的封闭门，在某个区域发生污染时闭合封闭门，以达到隔绝污染空气的目的。但是高密封性的封闭门，造价高昂，且上述情况发生频率较低，导致封闭门使用次数少，性价比很低。特别在建造大面积的无尘洁净车间时，需要设置的封闭门数量过于庞大，成本过于高昂。因为成本过于高昂，部分洁净室在建造时选择不安装封闭门或者只在重要区域安装封闭门，那么在实际生产那过程中仍会出现上述问题。

发明内容

为了解决现有洁净室内各个生产区域的无尘洁净环境容易受到相邻生产区域环境气流污染，容易影响后续生产良率以及风机过滤机组使用寿命，而设置大量高密封性的封闭门去封闭生产区域成本造价高昂的问题，本申请提供一种无尘洁净室环境气流智能调控系统。

第一方面，本申请提供一种无尘洁净室环境气流智能调控系统，采用如下的技术方案：

一种无尘洁净室环境气流智能调控系统，包括：

控制器模块；

多个风机过滤机组，多个所述风机过滤机组分别安装在洁净室内各个生产区域的顶部，且多个生产区域的底部均沿其周向开设有若干个回风口，若干个所述回风口均与风机过滤机组连通有换气回风通道；

环境监测模块，用于检测各个生产区域的环境参数；

多个区域封闭组件，所述区域封闭组件安装在洁净室内各个生产区域连通处，用于对相邻生产区域进行隔断；

所述区域封闭组件包括收纳盒体、放卷杆、防尘透气膜和固定件，所述收纳盒体顶部嵌设在两个相邻生产区域连通处顶壁内且下端开口，所述放卷杆转动设置在收纳盒体内；所述防尘透气膜收卷在放卷杆上，所述防尘透气膜底部设有连接件；所述固定件安装在两个相邻生产区域连通处的地面上，用于在防尘透气膜展开时与连接件密封连接对两个相邻生产区域连通处进行封闭；

所述环境监测模块和多个风机过滤机组均与控制器模块连接；