[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202210629378.2 | 申请日: | 2017-09-26 |
公开(公告)号: | CN115064535A | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 藤井秀纪 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L27/07 | 分类号: | H01L27/07;H01L27/06;H01L21/265;H01L21/324;H01L29/861;H01L21/329;H01L29/08;H01L29/739;H01L21/331 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于,
具有层叠构造,所述层叠构造由下述部分构成:
第1导电型的第1半导体层;
第2导电型的第2半导体层,其形成于所述第1半导体层的表面;
所述第1导电型的第3半导体层,其形成于所述第1半导体层的背面;
所述第1导电型的第4半导体层及所述第2导电型的第5半导体层,它们在俯视观察时彼此相邻地或相邻部分重叠地形成于所述第3半导体层的背面,或形成于所述第1半导体层及所述第3半导体层的背面;
第1电极,其以覆盖所述第2半导体层的表面的方式形成;以及
第2电极,其以覆盖所述第4半导体层及所述第5半导体层的背面的方式形成,
所述第4半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置与所述第5半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置不同,
所述第2半导体层与所述第4半导体层及所述第5半导体层在俯视时重叠,
所述层叠构造构成RFC二极管,其中,RFC的含义是释放阴极场,
包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度与包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度不同,
包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度与包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度之差和所述第4半导体层与所述第5半导体层之间的高低差是相同的。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
所述第5半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置与所述第4半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置相比位于所述第1半导体层侧,且所述第4半导体层及所述第5半导体层的所述相邻部分重叠地形成,
在所述相邻部分重叠的部位处的所述第5半导体层与所述第4半导体层之间形成有所述第5半导体层。
3.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
所述第4半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置与所述第5半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置相比位于所述第1半导体层侧,且所述第4半导体层及所述第5半导体层的所述相邻部分重叠地形成,
在所述相邻部分重叠的部位处的所述第5半导体层与所述第4半导体层之间形成有所述第4半导体层。
4.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
还具有第3电极,该第3电极形成于所述第4半导体层与所述第2电极之间,
包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度与包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度之差是将所述第4半导体层与所述第5半导体层之间的高低差、所述第3电极的厚度进行合计后的厚度。
5.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度比包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度薄。
6.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度比包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度薄。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的