[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202210629378.2 申请日: 2017-09-26
公开(公告)号: CN115064535A 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 藤井秀纪 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L27/07 分类号: H01L27/07;H01L27/06;H01L21/265;H01L21/324;H01L29/861;H01L21/329;H01L29/08;H01L29/739;H01L21/331
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 何立波;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体装置,其特征在于,

具有层叠构造,所述层叠构造由下述部分构成:

第1导电型的第1半导体层;

第2导电型的第2半导体层,其形成于所述第1半导体层的表面;

所述第1导电型的第3半导体层,其形成于所述第1半导体层的背面;

所述第1导电型的第4半导体层及所述第2导电型的第5半导体层,它们在俯视观察时彼此相邻地或相邻部分重叠地形成于所述第3半导体层的背面,或形成于所述第1半导体层及所述第3半导体层的背面;

第1电极,其以覆盖所述第2半导体层的表面的方式形成;以及

第2电极,其以覆盖所述第4半导体层及所述第5半导体层的背面的方式形成,

所述第4半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置与所述第5半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置不同,

所述第2半导体层与所述第4半导体层及所述第5半导体层在俯视时重叠,

所述层叠构造构成RFC二极管,其中,RFC的含义是释放阴极场,

包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度与包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度不同,

包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度与包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度之差和所述第4半导体层与所述第5半导体层之间的高低差是相同的。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,

所述第5半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置与所述第4半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置相比位于所述第1半导体层侧,且所述第4半导体层及所述第5半导体层的所述相邻部分重叠地形成,

在所述相邻部分重叠的部位处的所述第5半导体层与所述第4半导体层之间形成有所述第5半导体层。

3.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,

所述第4半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置与所述第5半导体层的在所述层叠构造中的层叠高度位置相比位于所述第1半导体层侧,且所述第4半导体层及所述第5半导体层的所述相邻部分重叠地形成,

在所述相邻部分重叠的部位处的所述第5半导体层与所述第4半导体层之间形成有所述第4半导体层。

4.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,

还具有第3电极,该第3电极形成于所述第4半导体层与所述第2电极之间,

包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度与包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度之差是将所述第4半导体层与所述第5半导体层之间的高低差、所述第3电极的厚度进行合计后的厚度。

5.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,

包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度比包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度薄。

6.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,

包含所述第4半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度比包含所述第5半导体层的所述层叠构造中的所述第1半导体层的厚度薄。

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