[发明专利]检查装置以及检查方法在审

专利信息
申请号: 202210632329.4 申请日: 2022-06-07
公开(公告)号: CN115704779A 公开(公告)日: 2023-02-17
发明(设计)人: 李炯珍 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95
代理公司: 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 代理人: 朴英淑
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 检查 装置 以及 方法
【说明书】:

提供一种检查装置以及检查方法。检查装置可以包括工作台、第一光源、第二光源、光学部件、拍摄部和处理部。在所述工作台可以配置基板。所述第一光源可以照射第一光。所述第二光源可以照射第二光。所述光学部件可以配置在所述第一光源与所述第二光源之间,并且可以使所述第一光的光路径或者所述第二光的光路径朝向所述工作台。所述拍摄部可以拍摄照射了所述第一光和所述第二光的所述基板。所述处理部可以从照射所述第一光获得的第一图像数据中去除照射所述第二光获得的第二图像数据来生成检查数据。

技术领域

发明涉及提高了不良判断的可靠性的检查装置以及利用该检查装置的检查方法。

背景技术

显示装置可以包括发光元件。发光元件可以包括于墨液或者膏体等溶剂中而被提供到显示面板上,所述溶剂可以在常温下或者通过热而被气化。因此,发光元件可以具有随机地涂布在显示面板上的特性。检查装置可以拍摄显示装置来与基准图像进行比较,从而判断不良程度。

发明内容

本发明的一目的在于,提供一种提高了不良判断的可靠性的检查装置。

本发明的一目的在于,提供一种利用提高了不良判断的可靠性的检查装置的检查方法。

本发明的一实施例涉及的检查装置可以包括:工作台,配置基板;第一光源,照射第一光;第二光源,照射波长不同于所述第一光的第二光;光学部件,配置在所述第一光源与所述第二光源之间,从而选择性地使所述第一光的光路径或者所述第二光的光路径朝向所述工作台;拍摄部,拍摄照射了所述第一光的所述基板和照射了所述第二光的所述基板;以及处理部,从拍摄照射了所述第一光的所述基板获得的第一图像数据中去除拍摄照射了所述第二光的所述基板获得的第二图像数据,从而生成检查数据。

可以是,所述检查装置还包括:控制部,控制所述光学部件的旋转,所述控制部根据所述第一光源和所述第二光源的工作时序来使所述光学部件旋转。

可以是,所述控制部构成为控制所述第一光源和所述第二光源的操作,所述控制部在所述第一光源开启时关闭所述第二光源,在所述第二光源开启时关闭所述第一光源,并且在所述光学部件旋转时关闭所述第一光源和所述第二光源。

可以是,所述第一光具有可见光波段的波长,并且所述第二光具有紫外线波段的波长。

可以是,所述检查装置还包括:第一滤波器,配置在所述第一光源与所述光学部件之间,从而使第一波段的光透过。

可以是,所述第一滤波器是能够拆装的。

可以是,所述检查装置还包括:第二滤波器,配置在所述第二光源与所述光学部件之间,从而使第二波段的光透过,所述第二滤波器是激发滤波器。

可以是,所述检查装置还包括:辐射滤波器,在所述光学部件与所述拍摄部之间被配置成能够移动,在所述第一光源开启时,所述辐射滤波器不配置在所述光学部件与所述拍摄部之间,并且在所述第二光源开启时,所述辐射滤波器配置在所述光学部件与所述拍摄部之间。

可以是,所述光学部件包括第一面以及与所述第一面对置的第二面,所述第一光中的至少一部分在所述光学部件的所述第一面被反射而朝向所述基板,并且所述第二光中的至少一部分在所述光学部件的所述第二面被反射而朝向所述基板。

可以是,所述检查装置还包括:判断部,比较所述检查数据与基准数据来判断是否不良。

可以是,所述检查数据是从所述基板的多个区域之中的一个区域获得的数据。

可以是,提供多个所述检查数据,多个所述检查数据与所述多个区域分别一对一地对应,所述检查装置还包括:判断部,彼此比较多个所述检查数据来判断是否不良。

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