[发明专利]一种引线键合点可靠性检验装置及检验方法

权利要求书

1.一种引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述引线键合点可靠性检验装置包括：

工作台，被配置为与外部结构连接以固定所述引线键合点可靠性检验装置；

固定架，包括沿第一方向固定设置在所述工作台上且沿第二方向彼此相对地的第一部分和第二部分，所述第二方向与所述第一方向垂直；

基板紧固和运动机构，包括基板夹紧件、真空吸盘、支撑滑杆、第一弧形滑道、第二弧形滑道和座体；

拉拔机构，包括与固定架的所述第一部分的一侧固定连接的固定臂、具有限位板的引线夹、拉伸杆、紧固件、拉伸运动组件和复位件；以及

滑杆能动机构，包括设置在第二部分中的驱动元件，以驱动所述支撑滑杆为所述摆动提供动力。

2.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述第一弧形滑道和第二弧形滑道分别相应设置在所述第一部分和所述第二部分中，所述支撑滑杆具有与座体固定连接的身部以及分别相应与第一弧形滑道、第二弧形滑道配合的两个轴状端部，所述真空吸盘设置在座体中并能够待测试样基板的第二表面吸附在座体上，所述基板夹紧件具有能够紧固待测试样基板的第一表面、以及与座体固定连接的第二表面，通过第一弧形滑道、第二弧形滑道与支撑滑杆的配合能够使第一表面在第一角度内摆动，且在第一角度为0°的情况下，基板夹紧件的所述第一表面与所述第一方向垂直并与所述第二方向平行。

3.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，拉伸杆的一端在第一方向与第二方向所构成的平面内以可调节的第二角度与固定臂连接，拉伸杆的另一端与引线夹固定连接，引线夹通过限位板使待测试样基板的第一表面上的L型引线与拉伸杆的中轴线方向平行，紧固件能够对拉伸杆进行限位和紧固，拉伸运动组件被配置为能够以预设的拉力参数使拉伸杆沿其中轴线方向做拉伸运动，复位件能够将拉伸杆恢复至初始位置，其中，所述第二角度为拉伸杆的所述中轴线与所述第二方向之间的夹角。

4.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述滑杆能动机构还控制元件和/或显示元件，所述控制元件被配置为能够与所述驱动元件连接以设定所述摆动的次数上限，所述显示元件被配置为能够统计并显示从测试开始时刻至L型引线从待测试样基板脱落或L型引线断裂时刻对应的所述摆动的次数。

5.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述引线键合点可靠性检验装置还包括高度调节机构，所述高度调节机构被设置在固定臂中、被设置在第一部分和第二部分中、或者被设置基板紧固和运动机构的座体中，并能够调节拉伸杆与基板夹紧件之间的距离。

6.根据权利要求1～4中任意一项所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述第一角度在-10°～10°范围内选择，所述第二角度在-60°～60°范围内选择；进一步，所述第一角度在1°～3°或-3°～-1°范围内选择，所述第二角度在-30°～30°范围内选择。

7.根据权利要求1～4中任意一项所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述第一方向为竖直方向，所述第二方向为水平方向，优选地，拉伸杆与固定臂连接的所述一端位于基板夹紧件的正上方。

8.一种使用如权利要求1～6中任意一项所述的引线键合点可靠性检验装置的引线键合点可靠性检测方法。