[发明专利]一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备在审
申请号: | 202210636782.2 | 申请日: | 2022-06-07 |
公开(公告)号: | CN115161769A | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 刘海;高树良;王人松 | 申请(专利权)人: | 连城凯克斯科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/00;H02K9/19 |
代理公司: | 无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625 | 代理人: | 李晶晶 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 底盘 坩埚 自动 升降 控制 设备 | ||
1.一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:包括长晶炉体(1);所述长晶炉体(1)的顶部安装有长晶炉盖(2);所述长晶炉体(1)的内部安装有驱动电机(3);所述驱动电机(3)设置在靠近长晶炉体(1)底部的位置处;所述驱动电机(3)的输出端固接有驱动轴(4);所述驱动轴(4)上固接有第一齿轮(5);所述长晶炉体(1)的内部开设有加热腔;所述加热腔的内部滑动连接有升降炉底板(8),且升降炉底板(8)与长晶炉体(1)的内腔的形状为大小相适应的方形设置;所述升降炉底板(8)的顶部设有固定组件,所述固定组件可将坩埚固定在升降炉底板(8)的顶部;所述升降炉底板(8)的底部固接有螺纹杆(6);所述螺纹杆(6)上螺纹连接有第二齿轮(7);所述第一齿轮(5)与第二齿轮(7)呈啮合连接;所述驱动电机(3)的外界设有降温组件,所述降温组件可对驱动电机(3)进行降温。
2.根据权利要求1所述的一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:所述长晶炉体(1)的加热腔与驱动电机(3)之间设有若干组石棉隔热层(9),且石棉隔热层(9)在长晶炉体(1)的内部呈与长晶炉体(1)底面平行的环形设置。
3.根据权利要求2所述的一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:所述降温组件包括储水腔(10);所述储水腔(10)的内部连接有两个循环水管(11);所述循环水管(11)连接在储水池的内部;其中一个所述循环水管(11)设置在靠近储水腔(10)顶部的位置处,另一个所述循环水管(11)设置在对应储水腔(10)底部的位置处;顶部的所述循环水管(11)内部安装有水泵。
4.根据权利要求3所述的一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:所述储水腔(10)的内部设有支撑片(12);所述支撑片(12)设置在对应顶部的循环水管(11)端部位置处;所述支撑片(12)的截面为弧形设计;所述支撑片(12)的边界处与储水腔(10)的侧壁接触,并通过支撑片(12)的边界处将支撑片(12)撑起;所述支撑片(12)的侧壁上固接有连接杆(14);所述连接杆(14)的端部固接有接触片(13);所述连接杆(14)滑动连接在长晶炉体(1)的内部;所述支撑片(12)远离连接杆(14)一侧的侧壁中心位置处开设有凹槽。
5.根据权利要求4所述的一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:所述第二齿轮(7)的顶部固接有安装环(15);所述安装环(15)设置在对应螺纹杆(6)的位置处;所述安装环(15)的侧壁上固接有若干个铁丝刷(16);所述铁丝刷(16)的端部与螺纹杆(6)的侧壁接触。
6.根据权利要求5所述的一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:所述第二齿轮(7)的内部开设有若干个落尘孔(17);所述落尘孔(17)的一端开设在对应螺纹杆(6)螺纹的位置处,所述落尘孔(17)的另一端开设在第二齿轮(7)底部的位置处。
7.根据权利要求6所述的一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:所述储水腔(10)的内部设有网架(18);所述网架(18)在储水腔(10)的内部呈波浪形设置,且网架(18)鼓起的端部与储水腔(10)的侧壁接触。
8.根据权利要求7所述的一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:所述网架(18)的顶部固接有伸出杆;所述伸出杆伸入长晶炉体(1)的侧壁;所述驱动轴(4)的侧壁上固接有若干个连接绳(19);所述连接绳(19)的端部固接有敲击球(20);所述连接绳(19)的位置与长度和伸出杆的位置与长度呈相对应设置。
9.根据权利要求8所述的一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:所述循环水管(11)呈斜向设置。
10.根据权利要求9所述的一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,其特征在于:所述螺纹杆(6)的侧壁上固接有若干个定位块(21);所述长晶炉体(1)的内部开设有定位槽(22);所述定位块(21)与定位槽(22)呈相对应设置。
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