[发明专利]紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构

权利要求书

1.一种紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，包括：

观察镜筒，形成有沿第一方向贯通设置的第一腔体；

旋转件，沿第二方向所处轴线转动设置于所述观察镜筒，且所述旋转件具有沿径向呈延展设置的旋转驱动部；

伸缩筒，沿第一方向延伸且活动设置于所述第一腔体，且所述伸缩筒用以供观察相机模组安装；以及，

传动结构，传动连接所述旋转驱动部至所述伸缩筒，以将所述旋转件的转动转换成所述伸缩筒的直线运动。

2.如权利要求1所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述第二方向与所述第一方向设置为相同方向；

所述旋转件包括旋转筒，所述伸缩筒适配套设于所述旋转筒，且所述传动结构设置为螺纹连接副；

其中，所述旋转驱动部环设于所述旋转筒的周侧壁。

3.如权利要求2所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述旋转筒包括限位筒段，所述限位筒段适配伸入所述第一腔体；

所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括第一限位组件，所述第一限位组件包括：

限位槽，环设于所述限位筒段的周侧壁；以及，

第一限位销，对应所述限位槽贯穿设置于所述观察镜筒的侧壁，且所述第一限位销适配伸入所述限位槽。

4.如权利要求2所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述旋转驱动部与所述观察镜筒的观察端呈相对设置；

所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括定位组件，所述定位组件包括定位销，所述定位销沿所述第一方向活动设置于所述旋转驱动部，在所述定位销的活动行程上，所述定位销能抵紧所述观察镜筒的观察端。

5.如权利要求2所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述伸缩筒包括止转筒段；

所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括止转组件，所述止转组件包括：

止转槽，沿第一方向延伸设置于所述止转筒段的侧壁；

止转销，对应所述止转槽贯穿设置于所述观察镜筒的侧壁，且所述止转销适配伸入所述止转槽。

6.如权利要求2所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述伸缩筒的侧壁上相对所述旋转筒的底壁呈间隔设置有限位凸部。

7.如权利要求1所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述伸缩筒具有伸出所述第一腔体设置的安装筒段；

所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括：

观察相机模组，包括联接套筒和观察相机，所述联接套筒沿第一方向所处轴线转动套设于所述安装筒段，所述观察相机设于所述联接套筒；以及，

第二限位组件，包括限位孔和第二限位销，所述限位孔贯穿设置于所述安装筒段的周侧壁，且沿所述安装筒段的周向呈长形设置，所述第二限位销设于所述联接套筒，且适配伸入所述限位孔。

8.如权利要求1所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括：

光刻镜筒，形成有沿第三方向贯通设置的第二腔体，所述观察镜筒设于所述光刻镜筒的侧壁，且所述第一腔体与所述第二腔体相互导通；以及，

分光棱镜，设于所述第二腔体，且所述分光棱镜与所述第一腔体呈相对设置。

9.如权利要求8所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述第一腔体包括观察透镜安装腔；

所述第二腔体包括沿所述第三方向排布的多个光刻透镜安装腔，且所述分光棱镜的两侧分别至少设置一个所述光刻透镜安装腔；

所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括：

多个安装群框，分设于所述观察透镜安装腔及多个所述光刻透镜安装腔内；

观察透镜群，设于所述观察透镜安装腔，且安装至对应的所述安装群框；以及，

多组光刻透镜群，分设于多个所述光刻透镜安装腔，且安装至对应的所述安装群框。

10.如权利要求9所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，在所述第二腔体内，多个所述安装群框包括处于中部位置的基准群框以及处于所述基准群框的两侧的多个调整群框，所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括隔圈组件，所述隔圈组件包括多个调整隔圈，多个所述调整隔圈对应设置于多个所述调整群框与对应的多个所述光刻透镜安装腔之间，用以调整多个所述调整群框与所述基准群框的间隔；和/或，

多个所述安装群框包括处于所述观察透镜安装腔内的调整群框，所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括隔圈组件，所述隔圈组件包括调整隔圈，所述调整隔圈设置于所述调整群框与所述观察透镜安装腔之间，用以调整多个所述调整群框与所述分光棱镜的间隔。