[发明专利]三轴运动台

权利要求书

1.一种三轴运动台，其特征在于，包括：

基台（1）；

气浮座组件（2），所述气浮座组件（2）设置在所述基台（1）上方且与所述基台（1）之间形成第一气浮间隙，以在平行于所述基台（1）的预定平面内可运动地设置；

第一运动组件（3），所述第一运动组件（3）至少部分沿平行于所述基台（1）的第一方向可运动地设置在所述基台（1）上且连接至所述气浮座组件（2），以带动所述气浮座组件（2）沿所述第一方向运动；

第二运动组件（4），所述第二运动组件（4）至少部分沿平行于所述基台（1）的第二方向可运动地设置在所述第一运动组件（3）上且连接至所述气浮座组件（2），以带动所述气浮座组件（2）沿所述第二方向运动；

第三运动组件（5），所述第三运动组件（5）至少部分沿垂直于所述基台（1）的第三方向可运动地设置于所述气浮座组件（2）上且连接至待定位部件，以带动所述待定位部件沿所述第三方向运动；

其中，所述第一运动组件（3）、所述第二运动组件（4）和所述气浮座组件（2）沿平行于所述基台（1）的方向依次布置；

所述第二运动组件（4）包括第二运动块（41）、第二连接块（44）和气浮垫块（43），所述第二运动块（41）沿所述第二方向可运动地设置在所述第二连接块（44）上方，所述第二运动块（41）连接至所述气浮座组件（2），所述第二连接块（44）固定连接至所述第一运动组件（3）；所述气浮垫块（43）与所述第二运动块（41）连接且位于所述第二运动块（41）下方，所述气浮垫块（43）设置在所述第二连接块（44）远离所述气浮座组件（2）的一侧；

其中，所述气浮座组件（2）、所述第二运动块（41）和所述气浮垫块（43）共同围成用于容纳所述第二连接块（44）的容纳空间；

所述第二连接块（44）为气浮滑块，所述第二连接块（44）靠近所述基台（1）的一侧与所述基台（1）之间间隔设置；所述第二连接块（44）靠近所述气浮座组件（2）的一侧的第一侧面为第一气浮面，所述第一气浮面与所述气浮座组件（2）之间形成第二气浮间隙；所述第二连接块（44）远离所述气浮座组件（2）的一侧的第二侧面为第二气浮面，所述第二气浮面与所述气浮垫块（43）之间形成第三气浮间隙。

2.根据权利要求1所述的三轴运动台，其特征在于，所述第二运动组件（4）还包括第二驱动部件，所述第二驱动部件包括可相对运动的第二电机动子（42）和第二电机定子（45），所述第二电机动子（42）相对于所述第二运动块（41）固定，所述第二电机定子（45）相对于所述第二连接块（44）固定，以驱动所述第二运动块（41）相对于所述第二连接块（44）沿所述第二方向运动。

3.根据权利要求1所述的三轴运动台，其特征在于，所述第一运动组件（3）包括沿第一方向可运动地设置在所述基台（1）上的第一运动块（31）和第一驱动部件，所述第一驱动部件包括可相对运动的第一电机动子（32）和第一电机定子（34），所述第一电机动子（32）相对于所述第一运动块（31）固定，所述第一电机定子（34）相对于所述基台（1）固定，以驱动所述第一运动块（31）相对于所述基台（1）沿所述第一方向运动。

4.根据权利要求3所述的三轴运动台，其特征在于，所述第一运动组件（3）包括：

第一连接块（33），所述第一连接块（33）设置在所述基台（1）上，所述第一电机定子（34）通过所述第一连接块（33）固定在所述基台（1）上；和/或

第一导轨（35），所述第一导轨（35）设置在所述基台（1）上且沿所述第一方向延伸，所述第一运动块（31）与所述第一导轨（35）滑动连接，以使所述第一运动块（31）相对于所述基台（1）可运动地设置，并对所述第一运动块（31）的运动进行导向。

5.根据权利要求1所述的三轴运动台，其特征在于，所述气浮座组件（2）包括：

气浮底座（21），所述气浮底座（21）可运动地设置在所述基台（1）上方且与所述基台（1）之间形成所述第一气浮间隙；

安装部（22），所述安装部（22）与所述气浮底座（21）连接且位于所述气浮底座（21）上方，以用于安装所述第三运动组件（5）。