[发明专利]纳米硅及其制备方法和应用在审
申请号: | 202210644393.4 | 申请日: | 2022-06-08 |
公开(公告)号: | CN115084494A | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 张建立;江宏富;赖超;刘鹏;田新;蒋文武 | 申请(专利权)人: | 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01M4/38 | 分类号: | H01M4/38;B82Y40/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 赵静 |
地址: | 221004 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 及其 制备 方法 应用 | ||
本发明公开了一种纳米硅及其制备方法和应用,其中,该纳米硅包括:内核和保护层,保护层包覆在内核的表面上,内核包括纳米硅颗粒,保护层包括有机硅烷形成的薄膜。该纳米硅具有良好的抗氧化性、抗腐蚀性且粒径分布均匀。
技术领域
本发明属于纳米硅制备工艺技术领域,具体涉及一种纳米硅及其制备方法和应用。
背景技术
纳米硅具有粒度细、活性高、比表面积大、脱嵌锂不粉化等性能优势,已广泛应用于微电子、半导体及锂电池负极材料等领域。目前,用于制备纳米硅粉的常见方法有机械研磨法、等离子蒸发冷凝法以及化学气相沉积法。其中,机械研磨法由于设备工艺简单、成本低和易于批量生产而受到众多技术开发者的青睐。
然而,机械研磨法虽然能低成本高效率制得纳米硅,但该工艺方法存在以下技术难点:1)纳米硅比表面积大,极易发生团聚;2)制备过程中,由于表面的高反应活性,易于氧化和被腐蚀;3)使用大量的分散剂造成材料性能降低。针对上述纳米硅机械研磨法中存在的问题,大量工艺改善方法被提出来,如专利文献CN105655570A中公开的纳米硅制备方法,由于使用大量分散剂(10%-20%),使得硅粒径能精确调控,然而大量分散剂会直接导致纳米硅的性能降低。此外专利CN107311181A公开了一种工业硅灰制备纳米硅的方法,虽然利用了工业废料,但是在制备过程中需要用大量的酸清洗,增加了设备成本同时也造成环境污染。上述这些方法,虽然调控了纳米硅的粒径问题,但其易于氧化的问题仍然没有解决。
因此,现有生产纳米硅的工艺有待改进。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明的一个目的在于提出一种纳米硅及其制备方法和应用,该纳米硅具有良好的抗氧化、抗腐蚀性且粒径分布均匀。
在本发明的一个方面,本发明提出了一种纳米硅,根据本发明的实施例,所述纳米硅包括:内核,所述内核包括纳米硅颗粒;保护层,所述保护层包覆在所述内核的表面上,并且所述保护层包括有机硅烷形成的薄膜。
根据本发明实施例的纳米硅,在包括纳米硅颗粒的内核表面上包覆着包括有机硅烷薄膜的保护层,该保护层包覆在内核的表面上,将内核与外部隔离,使内核具有抗腐蚀性和抗氧化性;同时,由于内核表面保护层的存在,阻止了纳米硅的团聚,使得纳米硅粒径更加分布均匀。由此,该纳米硅具有良好的抗氧化、抗腐蚀性且粒径分布均匀。
在本发明的一些实施例中,所述保护层的厚度为0.1-5nm,所述纳米硅颗粒的粒径为20-200nm,优选30-100nm。
本发明的再一个方面,本发明提供了一种制备上述纳米硅的方法,根据本发明的实施例,该方法包括:
(1)将有机硅烷与分散剂和酸液混合,以便得混合溶液;
(2)将颗粒硅与所述混合溶液混合,以便得粗硅浆料;
(3)将所述粗硅浆料依次进行球磨和干燥,以便得到纳米硅。
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