[发明专利]一种平面靶材的绑定方法有效
| 申请号： | 202210649943.1 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN114959601B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;童培云 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市新站区龙*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平面 绑定 方法 | ||
1.一种平面靶材的绑定方法，其特征在于，包括步骤：
S1、在靶坯的连接面和背板的连接面分别开设相对应的锥孔，所述锥孔的深度为1～1.5mm，所述锥孔之间的间距为30～50mm；所述锥孔的数量为18～30个，多个所述锥孔平分成多组锥孔组，所述锥孔组沿所述靶坯和所述背板的半径布置，相邻所述锥孔组之间的角度为45°～80°；
S2、在靶坯的连接面和背板的连接面各涂抹一层锡层，所述锡层的厚度为0.08～0.12mm，锡层只是为了增强导热和导电性，并不起到连接绑定作用，所以不宜过厚；
S3、将靶坯和背板加热，靶坯的锥孔和背板的锥孔受热膨胀；
S4、将连接销钉的一端插入靶坯的锥孔，另一端插入背板上对应的锥孔；并将靶坯的连接面和背板的连接面紧贴；
S5、将靶坯和背板冷却，靶坯和背板的锥孔收缩，将连接销钉拉紧，实现靶坯和背板自动对心，并实现逐步拉紧，最终完成平面靶材的绑定。
2.根据权利要求1所述的平面靶材的绑定方法，其特征在于：所述锥孔的锥面角度为10～15°。
3.根据权利要求1所述的平面靶材的绑定方法，其特征在于：所述锥孔的表面呈粗糙结构。
4.根据权利要求1所述的平面靶材的绑定方法，其特征在于：步骤S3中，将靶坯和背板的加热温度为250～350℃。
5.根据权利要求1所述的平面靶材的绑定方法，其特征在于：步骤S4中，将靶材和背板按每小时60℃的速度冷却降温。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先导薄膜材料（安徽）有限公司，未经先导薄膜材料（安徽）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210649943.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
