[发明专利]F-Theta场镜的光学系统在审
| 申请号： | 202210657689.X | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN114994866A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 苏坤;杜伟哲;黄婷;肖荣诗 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 程琛 |
| 地址： | 100022 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | theta 光学系统 | ||
1.一种F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，包括：透镜组件；
所述透镜组件包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜及第四透镜；
所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜及所述第四透镜沿激光束的传播方向依次排布；所述第一透镜的中心、所述第二透镜的中心、所述第三透镜的中心及所述第四透镜的中心共线；
所述透镜组件的焦距范围为249.0mm至251.0mm；所述透镜组件的半视场角为20度，所述透镜组件用于聚焦波长为1064nm的激光。
2.根据权利要求1所述的F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，
所述第一透镜为双凹透镜；
所述第一透镜背离所述第二透镜的一侧的曲率半径范围为-52.1mm至-51.9mm；所述第一透镜朝向所述第二透镜的一侧的曲率半径范围为232.9mm至234.9mm；所述第一透镜的中心厚度范围为2.9mm至3.1mm。
3.根据权利要求1所述的F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，
所述第二透镜为弯月透镜；
所述第二透镜朝向所述第一透镜的一侧的曲率半径范围为-126.5mm至-126.3mm；所述第二透镜朝向所述第三透镜的一侧的曲率半径范围为-85.0mm至-84.8mm；所述第二透镜的中心厚度范围为12.8mm至13.0mm。
4.根据权利要求1所述的F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，
所述第三透镜为弯月透镜；
所述第三透镜朝向所述第二透镜的一侧的曲率半径范围为-1246.8mm至-1226.8mm；所述第三透镜朝向所述第四透镜的一侧的曲率半径范围为-124.2mm至-124.0mm；所述第三透镜的中心厚度范围为8.9mm至9.1mm。
5.根据权利要求1所述的F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，
所述第四透镜为双凸透镜；
所述第四透镜朝向所述第三透镜的一侧的曲率半径范围为488.7mm至490.7mm；所述第四透镜背离所述第三透镜的一侧的曲率半径范围为-87.7mm至-87.5mm；所述第四透镜的中心厚度范围为16.5mm至18.5mm。
6.根据权利要求1所述的F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，
所述第一透镜与所述第二透镜之间的距离范围为5.8mm至6.0mm。
7.根据权利要求1所述的F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，
所述第二透镜与所述第三透镜之间的距离范围为0.9mm至1.1mm。
8.根据权利要求1所述的F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，
所述第三透镜与所述第四透镜之间的距离范围为0.9mm至1.1mm。
9.根据权利要求1所述的F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，
所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜及所述第四透镜的材质为熔石英，所述熔石英的折射率为1.46，所述熔石英的阿贝尔系数为67.8。
10.根据权利要求1所述的F-Theta场镜的光学系统，其特征在于，
所述F-Theta场镜的光学系统还包括：镜筒；
所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜及所述第四透镜设于所述镜筒内。
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