[发明专利]一种十字型结构的多维应变传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种十字型结构的多维应变传感器，其特征在于：包括两层聚乙烯泡棉丙烯酸双面胶带衬底层(1)，所述聚乙烯泡棉丙烯酸双面胶带衬底层(1)相向的一侧面上包含转印的激光诱导石墨烯电极层(2)，所述激光诱导石墨烯电极层(2)的两端连接有导电铜箔引脚(3)。

2.根据权利要求1所述的一种十字型结构的多维应变传感器，其特征在于：所述聚乙烯泡棉丙烯酸双面胶带衬底层(1)相互贴合且相互垂直，所述激光诱导石墨烯电极层(2)相互垂直且相向贴合，能够提供多方向应变传感能力。

3.一种十字型结构的多维应变传感器的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

(1)利用紫外激光(4)烧蚀聚酰亚胺薄膜(5)，诱导制备图案化石墨烯电极(6)；

(2)使用聚乙烯泡棉丙烯酸双面胶带衬底层(1)转印所述聚酰亚胺薄膜(5)上的所述图案化石墨烯电极(6)：将所述聚乙烯泡棉丙烯酸双面胶带衬底层(1)紧密贴合在所述图案化石墨烯电极(6)上，用力按压使其紧密贴合，揭开所述聚乙烯泡棉丙烯酸双面胶带衬底层(1)和所述聚酰亚胺薄膜(5)，所述聚乙烯泡棉丙烯酸双面胶带衬底层(1)上的高粘度丙烯酸可将所述图案化石墨烯电极(6)完全剥离并转印，形成激光诱导石墨烯电极层(2)；

(3)通过切割导电铜箔胶带，制备特定形状的导电铜箔引脚(3)，将导电铜箔引脚(3)不含胶的一面贴到所述激光诱导石墨烯电极层(2)的两端；

(4)将两个步骤三中粘贴完所述导电铜箔引脚(3)的所述聚乙烯泡棉丙烯酸双面胶带衬底层(1)垂直贴合，同时使所述激光诱导石墨烯电极层(2)也相互垂直相向贴合，完成十字型结构的多维应变传感器的制备。

4.根据权利要求3所述的一种十字型结构的多维应变传感器的制备方法，其特征在于：所述紫外激光(4)的参数设置为：扫描速度50mm/s，脉冲频率150kHz，脉冲宽度1μs，扫描间距0.02mm，焦距固定在所述聚酰亚胺薄膜(5)上方4mm处。