[发明专利]基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器

权利要求书

1.一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，包括：

压电薄板；

第一叉指电极，所述第一叉指电极设置在所述压电薄板的正面上，所述第一叉指电极的数量至少为一个；

第二叉指电极，所述第二叉指电极设置在与所述压电薄板正面相对的背面上，所述第二叉指电极的数量至少为一个；且所述第一叉指电极和第二叉指电极在所述压电薄板厚度方向的投影互不重叠。

2.如权利要求1所述的一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，所述压电薄板的正面设有至少一个第一金属反射栅。

3.如权利要求1所述的一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，所述压电薄板的背面设有至少一个第二金属反射栅。

4.如权利要求1所述的一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，所述第一叉指电极的最小指宽为100nm-1000nm，厚度为20nm-500nm；所述第二叉指电极的最小指宽为100nm-1000nm，厚度为20nm-500nm。

5.如权利要求1所述的一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，所述压电薄板的厚度为100nm-2000nm。

6.如权利要求1所述的一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，所述第一叉指电极的指端设有与其分离的第一假指，所述第二叉指电极的指端也设有与其分离的第二假指。

7.如权利要求1所述的一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，所述压电薄板的正面或者背面设有温度补偿层。

8.如权利要求1所述的一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，所述压电薄板上还设有电气结构，所述电气结构包括分别设置在所述压电薄板正面和背面上的第一电极和第二电极，且第一电极和第二电极电性连接。

9.如权利要求8所述的一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，所述压电薄板上设有沿其厚度方向贯穿的通孔，所述通孔的两端通过其内部填充的金属分别与第一电极和第二电极电性连接。

10.如权利要求1所述的一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，其特征在于，所述压电薄板上还设有支撑结构，所述支撑结构通过多个粘合层与所述压电薄板的背面连接，所述压电薄板与支撑结构之间设有空气层。