[发明专利]一种有机无机杂化飞秒激光直写光刻胶有效
| 申请号： | 202210663716.4 | 申请日： | 2022-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN114755884B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 曹春;匡翠方;夏贤梦;沈小明;邱毅伟;关玲玲;刘旭 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 311121 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 有机 无机 杂化飞秒 激光 光刻 | ||
【权利要求书】：
1.一种有机-无机杂化飞秒激光直写光刻胶，其特征在于，按质量百分比计，包括：4-6wt%的酸A、2-3wt%的单体B、2-3wt%硫醇化合物C、0.2-1.0wt%光引发剂D及87-91.8wt%溶剂E；所述的酸A为锆基丙烯酸酯、锆基甲基丙烯酸酯中的一种或混合物；所述的单体B为甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯的一种或混合物；所述的硫醇化合物C为四(3-巯基丙酸)季戊四醇酯、六(3-巯基丙酸)二季戊四醇酯、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)中的一种或组合物；所述的光引发剂D为2-异丙基硫杂蒽酮、7-二乙氨基-3-噻吩甲酰基香豆素中的一种或两种的组合。
2.如权利要求1所述的一种有机-无机杂化飞秒激光直写光刻胶，其特征在于：所述的溶剂E为γ-丁内酯、甲基异丁酮、3-甲氧基丙酸乙酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙酮中的一种或多种的混合物。
3.如权利要求1所述的一种有机-无机杂化飞秒激光直写光刻胶，其特征在于：将有机-无机杂化飞秒激光直写光刻胶通过旋涂制成薄膜，用780 nm飞秒激光诱导其图案化聚合，经过显影获得图案。
4.如权利要求3所述的一种有机-无机杂化飞秒激光直写光刻胶，其特恒在于：所述显影所用的显影液为γ-丁内酯、甲基异丁酮、3-甲氧基丙酸乙酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙酮中的一种或多种的混合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于之江实验室，未经之江实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210663716.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
