[发明专利]散热构件及其制造方法

说明书

本发明提供散热构件及其制造方法。散热构件是具备包含铝或镁的金属‑碳化硅质复合体的板状散热构件，散热构件的2个主面中的至少一个主面向散热构件的外侧方向呈凸型弯曲，设其一个主面的由JIS B 0621规定的平面度为fsubgt;1/subgt;，设作为与该一个主面不同的主面的另一个主面的由JIS B 0621规定的平面度为fsubgt;2/subgt;时，fsubgt;2/subgt;比fsubgt;1/subgt;小10μm以上。

本申请是申请日为2020年1月29日、发明名称为“散热构件及其制造方法”的中国发明专利申请No.202080006024.1(PCT申请号为PCT/JP2020/003089)的分案申请。

技术领域

本发明涉及散热构件及其制造方法。更具体而言，涉及具备包含铝或镁的金属-碳化硅质复合体的板状散热构件及其制造方法。

背景技术

近年，作为电动汽车、电力铁道用途的电力模块用散热部件，逐渐变得代替以往的铜而使用由金属-碳化硅质复合体构成的散热构件。

作为金属-碳化硅质复合体的金属，经常使用铝、其合金。

散热构件多与其他部件(例如散热片、散热单元)接合使用，其接合部分的性状是重要的。

例如，将散热构件与散热片、散热单元接合时，通常利用设置在散热构件的周边部的孔，将散热构件螺纹固定于散热片、散热单元等。但是，如果散热构件的与散热片等接触的面为凹面，或者存在大量微小的凹凸，则在散热构件与散热片等之间产生间隙，具有热传递性降低的问题。

鉴于上述问题，为了尽量不在散热构件与散热片等之间产生间隙，提出了与散热片等接合的面呈凸型弯曲的散热构件的若干方案。

其原因在于，如上所述，散热构件通常用螺钉等固定构件固定于散热片等进行使用，此时，通过与散热片等的接合面呈凸型弯曲，由此被固定构件固定时其接合面变得“适度平坦”，与散热片等的接合性(密合性)提高等。

例如，专利文献1记载了下述碳化硅质复合体，其特征在于，是使多孔质碳化硅成型体含浸以铝为主成分的金属而得的板状复合体，在板状复合体的面内具有用于使该板状复合体的凸面朝向其他散热部件进行螺纹紧固的4个以上的孔部，相对于孔间方向(X方向)的长度10cm而言的翘曲量(Cx；μm)和、相对于与孔间方向垂直的方向(Y方向)的长度10cm而言的翘曲量(Cy；μm)的关系为50≤Cx≤250且-50≤Cy≤200(不包括Cy＝0)。

作为其他例子，专利文献2记载了碳化硅质复合体，其是使多孔质碳化硅成型体含浸以铝为主成分的金属而得的板状复合体，具有相对于复合体的主面的长度10cm而言的翘曲量为250μm以下的翘曲。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3468358号公报

专利文献2：国际公开第2015/115649号

发明内容

发明要解决的课题

如上所述，已知(1)首先，制造经弯曲的散热构件，(2)将其与散热片等接合时，通过螺钉的力使弯曲变“平坦”，由此提高散热构件与散热片等的接合性，进而提高散热性。

但是，通常，在散热构件的同与散热片等接触的面相反一侧的面上连接有电力元件等部件。因此，特别是在量产阶段，对经弯曲的散热构件连接部件有时难以对位或部件的连接本身较难。

即，对经弯曲的散热构件的一面连接部件来制造电力模块等时，在其制造稳定性(成品率等)方面具有改善的余地。

本发明是鉴于上述情况而得到的。