[发明专利]用于静压气浮轴承的供液系统及其控制方法

权利要求书

1.一种用于静压气浮轴承的供液系统的控制方法，其特征在于，所述用于静压气浮轴承的供液系统包括：

压缩机，包括静压气浮轴承；

第一循环组件，包括冷凝器和蒸发器；所述冷凝器与所述压缩机的排气口相连通，所述蒸发器与所述压缩机的吸气口相连通；

第二循环组件，包括供气罐；所述供气罐向所述静压气浮轴承供液，且所述供气罐内的顶部设有喷淋装置；

其中，所述蒸发器通过喷淋装置连通于所述供气罐，以向所述供气罐补液；所述冷凝器连通于所述供气罐的下部，以向所述供气罐补液；

所述控制方法包括：

在所述供气罐的液位低于预设液位下限的情况下，确定所述冷凝器的冷媒储量；

在冷媒储量大于或等于预设储量的情况下，所述供气罐通过所述冷凝器补液；

获取所述供气罐的罐压；

在所述罐压小于或等于第一压力的情况下，所述供气罐通过所述冷凝器补液至液位上限；

在所述罐压大于第一压力的情况下，所述供气罐同时通过所述蒸发器和所述冷凝器双侧补液；

在双侧补液过程中，在所述罐压小于第二压力的情况下，所述供气罐仅通过所述冷凝器补液至液位上限；

其中，所述第一压力高于预设压力，所述第二压力低于预设压力。

2.根据权利要求1所述的用于静压气浮轴承的供液系统的控制方法，其特征在于，所述第一压力高于预设压力3％；所述第二压力低于预设压力3％。

3.根据权利要求1或2所述的用于静压气浮轴承的供液系统的控制方法，其特征在于，所述供气罐内设有加热装置；

在获取所述供气罐的罐压之后，还包括：

在所述罐压小于或等于第三压力的情况下启动加热装置，在所述罐压大于第四压力的情况下停止加热装置；

其中，所述第三压力位于预设压力低于预设压力2％，所述第四压力高于预设压力2％。

4.根据权利要求3所述的用于静压气浮轴承的供液系统的控制方法，其特征在于，在所述供气罐的液位低于预设液位下限的情况下，确定所述冷凝器的冷媒储量之后，还包括：

在冷媒储量小于预设储量的情况下，所述供气罐通过所述蒸发器补液，同时开启加热装置；

通过调节所述蒸发器的补液速率和/或所述加热装置的功率，以使所述罐压稳定于所述第三压力和所述第四压力之间。

5.根据权利要求3所述的用于静压气浮轴承的供液系统的控制方法，其特征在于，在所述罐压大于第一压力的情况下，还包括：

开启所述供气罐的泄压出口管路，并在所述罐压下降至小于或等于所述第三压力时关闭所述泄压出口管路。

6.根据权利要求1或2所述的用于静压气浮轴承的供液系统的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

获取所述冷凝器和所述蒸发器的补液状态；

在所述冷凝器处于补液状态且其压力小于所述罐压的情况下，开启所述冷凝器对应的增压装置；

在所述蒸发器处于补液状态且其压力小于所述罐压的情况下，开启所述蒸发器对应的增压装置。

7.一种用于静压气浮轴承的供液系统，其特征在于，用于执行如权利要求1至6任一项所述的用于静压气浮轴承的供液系统的控制方法；

所述供气罐包括：

罐体；

补液部，包括高温补液口和低温补液口；所述高温补液口设置于所述罐体的下部，用以连通所述冷凝器，所述低温补液口设置于所述罐体的顶部，用以安装所述喷淋装置；

供液部，包括供液口和供气口；所述供液口设置于所述罐体的下部，所述供气口设置于所述罐体的上部。

8.根据权利要求7所述的用于静压气浮轴承的供液系统，其特征在于，所述高温补液口与所述冷凝器连通的管路上设有增压装置；和/或，所述低温补液口与所述蒸发器连通的管路设有增压装置。