[发明专利]一种电极传输线及包含有该电极传输线的硅基电光调制器

权利要求书

1.一种电极传输线，其特征在于，包括：至少两层金属层，且每层金属层由若干金属电极组成，且相邻金属层中对应位置的金属电极的两侧通过通孔进行电学接触，形成矩形框体状的电极结构。

2.根据权利要求1所述的一种电极传输线，其特征在于，各个金属层中金属电极的分布、形状及尺寸相一致。

3.一种硅基电光调制器，其特征在于，该硅基电光调制器包括如权利要求1或2所述的电极传输线。

4.根据权利要求3所述的一种硅基电光调制器，其特征在于，所述电极传输线中的最顶层金属层作为该硅基电光调制器的电极PAD层。

5.根据权利要求4所述的一种硅基电光调制器，其特征在于，所述电极传输线中的最底层金属层通过通孔与该硅基电光调制器的PN结连接。

6.根据权利要求5所述的一种硅基电光调制器，其特征在于，还包括：硅衬底及位于所述硅衬底上方的二氧化硅隔离层，所述PN结制备在所述二氧化硅隔离层上。

7.根据权利要求6所述的一种硅基电光调制器，其特征在于，还包括：二氧化硅覆盖层，所述二氧化硅覆盖层位于所述二氧化硅隔离层上方，所述电极传输线位于所述二氧化硅覆盖层内。

8.根据权利要求7所述的一种硅基电光调制器，其特征在于，还包括：光波导、和束器、分束器、终端负载。