[发明专利]一种新型的基于一维光栅的干涉位移测量装置

权利要求书

1.一种新型的基于一维光栅的干涉位移测量装置，其特征在于，所述干涉位移测量装置包括入射光源组件和光栅干涉位移测量组件，其中，

所述入射光源组件包括红光激光光源(1)和光电调制器(2)，红光激光器(1)输出的光束入射到光电调制器(2)上；

所述光栅干涉位移测量组件包括反射式光栅(3)、第一透射式光栅(4)、第二透射式光栅(5)、第一反射镜(6)、第二反射镜(7)、偏振分束器(8)、第一光电探测器(9)、第二光电探测器(10)和相位表(11)，入射光源组件出射的光源入射到反射式光栅(3)后，光束被分为两束，分别入射到第一透射式光栅(4)、第二透射式光栅(5)后，分别经过第一反射镜(6)、第二反射镜(7)调整后汇聚到偏振分束器(8)上，最后分别被第一光电探测器(9)、第二光电探测器(10)接收后，将信号传给相位表(11)，相位表(11)分析比较得出第一光电探测器(9)和第二光电探测器(10)的相位差。

2.根据权利要求1所述的基于一维光栅的干涉位移测量装置，其特征在于，所述入射光源组件出射的光源为差频光。

3.根据权利要求1所述的基于一维光栅的干涉位移测量装置，其特征在于，所述反射式光栅(3)、第一透射式光栅(4)、第二透射式光栅(5)的线密度相同，线密度区间为641线和3225线之间。

4.根据权利要求3所述的基于一维光栅的干涉位移测量装置，其特征在于，所述反射式光栅(3)产生的两束衍射光，一光束为+1级次，另一光束为-1级次，所述反射式光栅(3)沿着反射式光栅(3)的光栅矢量方向移动。

5.根据权利要求3所述的基于一维光栅的干涉位移测量装置，其特征在于，所述第一透射式光栅(4)和第二透射式光栅(5)产生的衍射光为水平平行光。

6.根据权利要求5所述的基于一维光栅的干涉位移测量装置，其特征在于，所述第一反射镜(6)和第二反射镜(7)将第一透射式光栅(4)和第二透射式光栅(5)产生的两束衍射光汇聚于偏振分束器(8)中。

7.根据权利要求6所述的基于一维光栅的干涉位移测量装置，其特征在于，所述偏振分束器(8)将入射光的P偏振光完全透过，将入射光的S偏振光完全反射。

8.根据权利要求1所述的基于一维光栅的干涉位移测量装置，其特征在于，所述第一光电探测器(9)和第二光电探测器(10)用于接收偏振分束器(8)中出射的干涉光，并检测出射干涉光的光强变化。