[发明专利]一种高稳定性压电薄膜的极化工艺

权利要求书

1.一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于：包括如下步骤：

S1、取多组不锈钢辊，对于不锈钢辊加热升温至一定程度，对其进行保温，通过在内设置有对于薄膜的加热与加压过程，从而能够对于薄膜进行良好的厚度控制，同时在后续设置有对于薄膜的拉伸过程，从而能够有效对于薄膜的韧性与延展性，从而能够有效提高对于该薄膜的后续极化加工效果；

S2、取需要极化的压电薄膜置于S1中的保温钢辊上，施加一定压力，且恒温恒压保持一段时间，控制压电薄膜的厚度在一定程度；

S3、取下压电薄膜，安装在拉伸机上，提高环境温度，将压电薄膜进行长度拉伸；

S4、保持压电薄膜的拉伸长度，继续提高环境温度，并保持一段时间；

S5、对于压电薄膜进行初步退火处理；

S6、取退火后的压电薄膜置于两个介质之间，保持恒温环境；

S7、施加一定直流电流，达到极化电场强度；在内还设置有施加一定直流电流，达到极化电场强度的过程，对于薄膜具有良好的电流通电处理效果，能够改变薄膜内的分子分布情况，从而能够有效提高极化处理工艺的整体效果；

S8、对于压电薄膜进行再次退火处理；

S9、对于压电薄膜置于裁切台上，对其进行多块分切处理；

S10、对于裁切的多块压电薄膜进行收存，利用紫外线灯照射一定时间；

S11、收入压电薄膜，并入库保存；在内设置有两次退火过程，能够有效细化薄膜晶粒，调整组织，消除组织缺陷，均匀材料组织和成分，改善材料性能，进一步提高整体极化处理工艺效果。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于，所述S1中，取多组不锈钢辊，对于不锈钢辊加热升温至一定程度至40-60℃，对其进行保温。

3.根据权利要求1所述的一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于，所述S2中，取需要极化的高稳定性压电薄膜置于S1中的保温钢辊上，施加6.6-8.6MPa压力，且恒温恒压保持5-8min，控制压电薄膜的厚度65-75μm。

4.根据权利要求1所述的一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于，所述S3中，取下压电薄膜，安装在拉伸机上，提高环境温度，将压电薄膜进行长度拉伸至压电薄膜长度1.3-1.6倍。

5.根据权利要求1所述的一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于，所述S4中，保持压电薄膜的拉伸长度，继续提高环境温度至100-120℃，并保持2-4h。

6.根据权利要求1所述的一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于，所述S6中，取退火后的压电薄膜置于两个介质之间，保持恒温环境，两个介质为两组金属丝和金属辊。

7.根据权利要求1所述的一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于，所述S7中，根据压电薄膜的厚度大小施加一定直流电流，达到极化电场强度。

8.根据权利要求1所述的一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于，所述S8中，对于压电薄膜进行再次退火处理，使压电薄膜等待自然冷却至室温。

9.根据权利要求1所述的一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于，所述S9中，对于压电薄膜置于裁切台上，对其进行多块分切处理至10-15块。

10.根据权利要求1所述的一种高稳定性压电薄膜的极化工艺，其特征在于，所述S10中，对于裁切的多块压电薄膜进行收存，利用紫外线灯照射25-35min。