[发明专利]一种用于制备石墨烯远红外陶瓷的真空镀膜设备在审
申请号: | 202210682199.5 | 申请日: | 2022-06-16 |
公开(公告)号: | CN115074672A | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 杨晓川;吉涛;邵志军 | 申请(专利权)人: | 南京中蓝智能科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 郭春莉 |
地址: | 211112 江苏省南京市江宁区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 制备 石墨 红外 陶瓷 真空镀膜 设备 | ||
1.一种用于制备石墨烯远红外陶瓷的真空镀膜设备,包括机体(1)、设置在所述机体(1)内的控距机构(2)与控量机构(3),其特征在于:
所述控距机构(2)包含坩埚(22)、支承台(213),所述坩埚(22)设置在所述机体(1)内部下端,所述支承台(213)设置在所述机体(1)内部上端,使所述坩埚(22)上移动时带动所述支承台(213)进行接近运动;
所述控量机构(3)包含分隔板(31)、通口(32)、控量板(310),所述分隔板(31)设置在所述机体(1)内中部,所述分隔板(31)上开设有所述通口(32),所述分隔板(31)上滑动配合有所述控量板(310),所述控量板(310)移动能控制所述通口(32)的开放大小;
保证所述坩埚(22)在上移动时,同时带动所述支承台(213)与所述控量板(310)进行接近运动。
2.根据权利要求1所述的一种用于制备石墨烯远红外陶瓷的真空镀膜设备,其特征在于:
所述控距机构(2)还包含液压杆(21)、连接柱(23)、连杆(24)、齿轮(25)、齿条(26)、固定架(27)、从动轴杆(28)、齿带(29)、第一锥齿轮(210)、控制杆(211)、第二锥齿轮(212),所述液压杆(21)设置在所述机体(1)外部下方,所述液压杆(21)的推杆贯穿所述机体(1)的侧壁,所述液压杆(21)的推杆与所述机体(1)滑动配合,所述液压杆(21)的推杆与所述机体(1)之间密封,所述液压杆(21)的推杆上固定安装有所述坩埚(22)。
3.根据权利要求2所述的一种用于制备石墨烯远红外陶瓷的真空镀膜设备,其特征在于:
所述坩埚(22)两侧均固定安装有所述连接柱(23),所述连接柱(23)上均转动配合有所述连杆(24),所述连杆(24)上均固定安装有所述齿轮(25),所述机体(1)内两侧均固定安装有所述齿条(26),所述齿条(26)与所述齿轮(25)相啮合。
4.根据权利要求3所述的一种用于制备石墨烯远红外陶瓷的真空镀膜设备,其特征在于:
所述机体(1)内部上端两侧均固定安装有所述固定架(27),所述固定架(27)上均转动配合有所述从动轴杆(28),所述从动轴杆(28)的一端延伸至与所述连杆(24)相对,所述从动轴杆(28)的一端与所述连杆(24)上张紧有所述齿带(29),所述齿带(29)的外表面上为齿面,所述从动轴杆(28)的另一端上固定安装有所述第一锥齿轮(210),所述固定架(27)上转动配合有所述控制杆(211),所述控制杆(211)的一端上固定安装有所述第二锥齿轮(212),所述第二锥齿轮(212)与所述第一锥齿轮(210)相啮合,所述控制杆(211)的另一端为螺杆,所述固定架(27)上滑动配合有所述支承台(213),所述支承台(213)与所述控制杆(211)的另一端螺旋配合。
5.根据权利要求4所述的一种用于制备石墨烯远红外陶瓷的真空镀膜设备,其特征在于:
所述分隔板(31)上通过所述通口(32)使上下相通,所述分隔板(31)与所述机体(1)相连的其余部分均密封;
所述控量机构(3)还包含伸缩杆(33)、固定块(34)、第一弹簧(35)、分隔轮(36)、连动杆(37)、齿辊(38)、滑槽(39)、定位块(311)、第二弹簧(312)、拉绳(313),所述机体(1)内部两侧上均固定安装有所述伸缩杆(33),所述伸缩杆(33)均位于所述分隔板(31)的上方,所述伸缩杆(33)的伸杆上均固定安装有所述固定块(34),所述伸缩杆(33)的伸杆上均套设有所述第一弹簧(35),所述第一弹簧(35)的一端与所述伸缩杆(33)的固定端相连,所述第一弹簧(35)的另一端与所述固定块(34)相连,所述第一弹簧(35)的初始状态为压缩状态。
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