[发明专利]大口径光学透镜的高精度检测方法

权利要求书

1.一种大口径光学透镜的高精度检测方法，所述高精度检测方法基于大口径光学透镜离散多点柔性支撑机构提出，其特征在于，所述高精度检测方法包括以下步骤：

S10、将透镜与所述支撑机构进行装调，通过定心仪检测所述透镜与所述支撑机构之间的位置偏差，通过干涉仪检测所述透镜的面型误差，通过微调机构调整所述位置偏差和所述面型误差，以得到调整后的透镜组件；

S20、将所述透镜组件作为一个整体，采用所述干涉仪、CGH和标准平面镜作为检测系统搭建透射波前检测光路，以检测透镜透射波前。

2.根据权利要求1所述的大口径光学透镜的高精度检测方法，其特征在于，所述大口径光学透镜离散多点柔性支撑机构包括镜座以及多个沿所述镜座均布的柔性支撑单元；所述透镜周侧粘接有与所述柔性支撑单元一一对应的多个铟钢垫，通过所述铟钢垫连接所述柔性支撑单元进而使得所述透镜与所述支撑机构连接。

3.根据权利要求2所述的大口径光学透镜的高精度检测方法，其特征在于，所述通过定心仪检测所述透镜与所述支撑机构之间的位置偏差包括：

将所述镜座置于定心仪二维平移台上，转动所述定心仪二维平移台的回转台，使用百分表测量所述镜座的外圆，根据测量数据，利用微调机构调整所述定心仪二维平移台的位置，直到所述百分表的示数波动在±0.01mm范围内；

将所述柔性支撑单元连接于所述镜座对应的安装位置，通过微调机构将所述透镜周侧的多个所述铟钢垫上的螺孔对准与所述柔性支撑单元，转动回转台，利用所述定心仪测量所述透镜的偏心误差和角度误差；

所述微调机构根据所述偏心误差和所述角度误差微调所述透镜的横向位置，根据所述角度误差的大小调节所述透镜的倾斜度；

反复迭代调节所述偏心误差和所述角度误差，直至两项误差均满足使用要求。

4.根据权利要求3所述的大口径光学透镜的高精度检测方法，其特征在于，所述通过干涉仪检测所述透镜的面型误差包括：采用所述干涉仪和45°反射镜搭建竖向检测光路，通过45°反射镜将光路折转为水平，将透镜组件置于竖向检测光路内，通过所述干涉仪检测透镜的凹面面型精度。

5.根据权利要求4所述的大口径光学透镜的高精度检测方法，其特征在于，所述通过微调机构调整所述面型误差包括：

根据所述干涉仪形成的镜面面型误差干涉图，将所述微调机构设置在相应需要调节的所述柔性支撑单元的两侧对所述柔性支撑单元进行局部调整；

通过所述微调机构调整所述柔性支撑单元后，再通过所述干涉仪检测所述透镜的镜面面型精度；

重复上述调整过程直至所述镜面面型精度满足使用要求。

6.根据权利要求5所述的大口径光学透镜的高精度检测方法，其特征在于，所述透射波前检测光路包括：

所述干涉仪焦点发出球面波，经过所述CGH衍射后经所述透镜透射，变为平行光，由所述标准平面镜自准反射，再经由所述透镜、所述CGH后进入所述干涉仪。