[发明专利]一种控制大直径单晶硅棒直径的加热器、拉晶炉和方法在审
| 申请号： | 202210697737.8 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN115094518A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 陶莹 | 申请（专利权）人： | 陶莹;北京麦竹吉科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/18;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 朱晓彤 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 控制 直径 单晶硅 加热器 拉晶炉 方法 | ||
1.一种控制大直径单晶硅棒直径的加热器，其特征在于，加热器(1)为倒锥台形且上下均敞口的筒状。
2.根据权利要求1所述的一种控制大直径单晶硅棒直径的加热器，其特征在于，所述加热器(1)的材质为石墨或碳化硅。
3.根据权利要求1所述的一种控制大直径单晶硅棒直径的加热器，其特征在于，所述加热器(1)周向侧壁呈方波形状。
4.根据权利要求1所述的一种控制大直径单晶硅棒直径的加热器，其特征在于，所述加热器(1)的高度H为100-180mm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种控制大直径单晶硅棒直径的加热器，其特征在于，所述加热器(1)的功率为5-20kW。
6.根据权利要求1-4任一项所述的一种控制大直径单晶硅棒直径的加热器，其特征在于，所述加热器(1)的下端内径d比单晶硅棒直径大60-70mm。
7.一种控制大直径单晶硅棒直径的拉晶炉，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的控制大直径单晶硅棒直径的加热器。
8.根据权利要求7所述的一种控制大直径单晶硅棒直径的拉晶炉，其特征在于，还包括坩埚(2)和导流筒(3)，所述导流筒(3)固定于所述坩埚(2)上方，所述加热器(1)固定于所述导流筒(3)下端的内侧，所述加热器(1)的下端距离所述坩埚(2)内的硅液面的距离为25-40mm。
9.根据权利要求8所述的一种控制大直径单晶硅棒直径的拉晶炉，其特征在于，所述坩埚(2)的斜上方设有感应器或监控相机。
10.一种控制大直径单晶硅棒直径的方法，其特征在于，采用如权利要求7-9任一项所述的控制大直径单晶硅棒直径的拉晶炉实现，包括：通过控制加热器(1)的功率，从而控制大直径单晶硅棒直径。
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