[发明专利]可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统

说明书

本公开提供了一种可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统，可拆卸连接装置包括：框架组件，包括：框架主体，包括容纳腔；第一滑动组件，设置在框架主体上且至少部分位于容纳腔内；连接组件，包括：连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在容纳腔内；第二滑动组件，设置在连接主体上，与第一滑动组件滑动配合，用于使连接主体进入或退出容纳腔。

技术领域

本公开涉及机械连接装置领域，特别涉及一种可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统。

背景技术

机械连接装置，尤其是可拆卸连接装置，广泛应用于生产、生活的各个领域，例如真空领域。真空系统，尤其是超高真空系统(例如，分子束外延系统)，是进行真空实验和生产中的重要基础，一般由真空腔、真空泵等部件通过真空管道的连接，按照需求组合形成整体系统，从而保证样品在实验过程或生产过程中一直处于真空环境下，以防止样品在大气环境中出现损坏。

在传统技术中，待处理的样品通过真空管道内的机械手逐个转移至固定在真空腔中的样品架上，这种方式转移样品效率低、容易发生掉样，且样品架无法取出，维护修理不便，缩短设备使用寿命，提高生产成本。

发明内容

本公开提供了一种可拆卸连接装置，其特征在于，包括：框架组件，包括：框架主体，包括容纳腔；第一滑动组件，设置在框架主体上且至少部分位于容纳腔内；连接组件，包括：连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在容纳腔内；第二滑动组件，设置在连接主体上，与第一滑动组件滑动配合，用于使连接主体进入或退出容纳腔。

本公开提供了一种样品架，其特征在于，包括：如本公开中任意一项实施例的可拆卸连接装置；架体，与可拆卸连接装置的连接组件固定连接，用于承载样品。

本公开提供了一种真空进样系统，其特征在于，包括：真空腔；如本公开中任意一项实施例的样品架，样品架至少部分设置在真空腔内。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出根据本公开一些实施例的可拆卸连接装置的结构示意图；

图2示出根据本公开一些实施例的框架组件的结构示意图；

图3示出根据本公开一些实施例的框架组件的仰视图；

图4示出根据本公开一些实施例的连接组件的结构示意图；

图5示出根据本公开一些实施例的锁钩与锁定结构的配合状态的局部放大图；

图6示出根据本公开一些实施例的样品架的部分结构示意图；以及

图7示出根据本公开一些实施例的真空进样系统的部分结构示意图。

在上述附图中，各附图标记分别表示：

100可拆卸连接装置

10框架组件

11框架主体

111容纳腔

114容纳口

112开口

113安装孔

12第一滑动组件

121a、121b底部滑轨

121c、121d侧面滑轨

1212a、1212b、1212c导向面

13锁定组件