[发明专利]一种铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法有效
| 申请号： | 202210716285.3 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN114836836B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 周伟家;辛笛;孙德辉;张运武;刘晓燕;赵莉莉;王东周;刘宏 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/30 |
| 代理公司： | 山东誉丰合创知识产权代理有限公司 37384 | 代理人： | 刘妍 |
| 地址： | 250022 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂 晶片 钽酸锂 局域 快速 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）将抛光后的铌酸锂晶片或钽酸锂晶片置于密闭装置中，然后充满还原性气体；
（2）按照设定好的图形，激光欠焦照射铌酸锂晶片或钽酸锂晶片，通入惰性气体排出还原性气体，得到局域黑化的铌酸锂晶片或局域黑化的钽酸锂晶片。
2.根据权利要求1所述的铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法，其特征在于，步骤（1）中，所述密闭装置为光热反应釜；所述光热反应釜上设有透光窗，所述透光窗的材质为石英玻璃或硒化锌玻璃。
3.根据权利要求1所述的铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法，其特征在于，步骤（1）中，所述还原性气体为氢气、甲烷或氩氢混合气。
4.根据权利要求1所述的铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法，其特征在于，步骤（2）中，所述激光欠焦的参数为：激光波长为1064nm，激光功率为4～10 W，欠焦距离为0.50～2.50 cm，扫速为100～600 mm/s。
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