[发明专利]一种钛锰合金涂层的制备方法

权利要求书

1.一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

步骤1：对Ti表面进行预处理；

步骤2：在预处理后的Ti表面制备金属Mn薄膜；

步骤3：将表面镀有金属Mn薄膜的钛片在一定的气氛下进行高温热处理，使金属Mn与Ti相互渗透，形成钛锰合金涂层。

2.根据权利要求1所述的一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤1为对金属Ti片表面依次进行除油，打磨，然后用酸对表面进行刻蚀，所述刻蚀过程采用的刻蚀剂为氢氟酸、草酸、硝酸、柠檬酸中的一种或几种。

3.根据权利要求1或2所述的一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤2中制备金属Mn薄膜的方法为电化学沉积法、磁控溅射法、化学气相沉积法、原子层沉积法中的一种，所述金属Mn薄膜的厚度为5～25μm。

4.根据权利要求1或3所述的一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤3中热处理气氛为真空、N₂、Ar、NH₃中的一种；采真空气氛时，真空度为4×10^-3～1×10^-2Pa，采用N₂、Ar、NH₃时，压力为常压，气氛为N₂、Ar、NH₃其中一种气体气氛或至少一种气体的混合气氛。

5.根据权利要求4所述的一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤3中的热处理温度为1000～1400℃，热处理时间为0.5～2h。

6.根据权利要求1或5所述的一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于：将制备的钛锰合金涂层进行掺杂改性处理，所述掺杂元素为N、C、S、B中的至少一种。

7.根据权利要求6所述的一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于：当所述掺杂元素为N时，所用氮源为N₂、NH₄Cl、NH₃中的至少一种。

8.根据权利要求6所述的一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于：当所述掺杂元素为C时，所用碳源为甲烷、乙烷中的一种或两种。

9.根据权利要求6所述的一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于：当所述掺杂元素为S时，所用硫源为升华硫、沉降硫、精制硫的一种或几种。

10.根据权利要求6所述的一种钛锰合金涂层的制备方法，其特征在于：当所述掺杂元素为B时，所用硼源为KBF₄、Fe₂B中的一种或两种。