[发明专利]显示面板及其制备方法、显示装置

权利要求书

1.一种显示面板，其特征在于，包括：

基板；

金属氧化物薄膜晶体管，设置在所述基板上；

有机平坦化层，设置在所述金属氧化物薄膜晶体管远离所述基板的一侧，所述有机平坦化层中开设有过孔；

阳极，设置在所述有机平坦化层远离所述金属氧化物薄膜晶体管的一侧，所述阳极覆盖所述过孔，并与所述金属氧化物薄膜晶体管连接；

发光层，设置在所述阳极远离所述有机平坦化层的一侧；以及

阴极，设置在所述发光层远离所述阳极的一侧；

其中，所述阳极包括依次设置在所述有机平坦层上的阻氢层、反射层以及电极层，所述反射层中的金属的还原性大于氢气的还原性，所述阻氢层的材料为金属或合金，所述阻氢层中的金属的还原性小于氢气的还原性。

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述阻氢层中的金属包括Mo、Ti以及Ni中的至少一种。

3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述阻氢层的材料包括Mo/Ti合金、Mo/Ni合金或Mo/Ti/Ni合金。

4.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述反射层中的金属包括Al。

5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述反射层中的金属还包括Ni、Cu以及La中的至少一种。

6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述反射层的材料包括Al/Ni/Cu/La合金，所述阻氢层的材料包括Mo/Ni/Ti合金。

7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括钝化层和第一保护电极，所述钝化层设置在所述金属氧化物薄膜晶体管和所述有机平坦化层之间，所述钝化层中开设有第一连接孔，所述第一保护电极设置在所述钝化层和所述有机平坦化层之间，所述第一保护电极覆盖所述第一连接孔，并分别与所述阳极和所述金属氧化物薄膜晶体管连接。

8.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述金属氧化物薄膜晶体管包括依次设置在所述基板上的氧化物半导体层、栅极绝缘层、栅极以及源漏极；所述显示面板还包括介电绝缘层，所述介电绝缘层设置在所述栅极和所述源漏极之间，并分别与所述栅极的表面和所述源漏极的表面接触。

9.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括壳体和设置在所述壳体中的显示面板，所述显示面板为如权利要求1至8任一项所述的显示面板。

10.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供基板；

在所述基板的一侧形成金属氧化物薄膜晶体管；

在所述金属氧化物薄膜晶体管上形成有机平坦化层，所述有机平坦化层中开设有过孔；

在所述有机平坦化层上依次形成阻氢基层、反射基层以及电极基层；其中，所述反射基层中的金属的还原性大于氢气的还原性，所述阻氢基层的材料为金属或合金，所述阻氢基层中的金属的还原性小于氢气的还原性；

对所述阻氢基层、所述反射基层以及所述电极基层进行退火处理；

对所述阻氢基层、所述反射基层以及所述电极基层进行图案化处理，所述阻氢基层形成为阻氢层，所述反射基层形成为反射层，所述电极基层形成为电极层，所述阻氢层、所述反射层以及所述电极层构成阳极，所述阳极覆盖所述过孔，并与所述金属氧化物薄膜晶体管连接；

在所述阳极上依次形成发光层和阴极。

11.根据权利要求10所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述反射基层的材料包括Al/Ni/Cu/La合金，所述阻氢基层的材料包括Mo/Ni/Ti合金，所述对所述阻氢基层、所述反射基层以及所述电极基层进行图案化处理的步骤，包括：

采用干法蚀刻工艺对所述电极基层进行蚀刻，以形成电极层；

在同一道湿法蚀刻工艺下对所述反射基层和所述阻氢基层进行蚀刻，以分别形成反射层和阻氢层。