[发明专利]砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺

权利要求书

1.砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，包括如下：准备；绕线；加张力；将晶棒上锯；输入加工数据；走线；复查；开机；下机，所述准备的过程中需要按照晶棒的加工要求更换合适型号的ROLLER滚筒、V轮、切割线等耗材，所述加张力是对金刚线母线进行加张力，下机后检查晶片表面线痕深度、翘曲Warp/Bow等关键性指标。

2.根据权利要求1所述砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，其特征在于，所述加张力前需要根据待切割的晶棒对金刚线母线的型号进行选择。

3.根据权利要求1所述砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，其特征在于，在选择所述金刚线母线的张力时需要根据母线的线径的破断张力的60％～70％进行选择。

4.根据权利要求1所述砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，其特征在于，所述金刚线主线的母线线径为38um～70um，张力范围为5～12N。

5.根据权利要求1所述砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，其特征在于，所述开机过程中所使用的设备为金刚石多线切割机。

6.根据权利要求4所述砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，其特征在于，所述金刚石多线切割机的线速范围为800～2100m/min。

7.根据权利要求1所述砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，其特征在于，开机后，所述金刚石多线切割机切割加工4～6英寸砷化镓晶棒。

8.根据权利要求7所述砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，其特征在于，所述金刚石多线切割机在对砷化镓晶棒进行切割的过程中需要控制金刚线主线的张力、金刚线主线的线速、金刚石多线切割机的供线速度、金刚石多线切割机的工作台速度等关键性参数，实现一次切割几百片砷化镓衬底。

9.根据权利要求8所述砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，其特征在于，所述金刚石多线切割机的供线速度范围为5～50m/min。

10.根据权利要求8所述砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，其特征在于，所述金刚石多线切割机的工作台速度范围为0.2～1.2mm/min。