[发明专利]一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备

权利要求书

1.一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备，其特征在于：包括真空压力分解装置、砷回收装置和镓回收装置；所述的真空压力分解装置包括真空分解炉(3)，真空分解炉(3)一端为高温端(4)，另一端为低温端(9)，高温端(4)上方设置有添料口(1)，高温端(4)下方设置有镓液收集器(10)，低温端(9)上方设置有氮气进入管路(6)；所述的砷回收装置包括集砷罐(14)和真空泵(18)，集砷罐(14)与真空泵(18)连通，集砷罐(14)的上部与真空分解炉(3)的低温端(9)通过管路连通，集砷罐(14)设置有竖向放置的收集网(13)，集砷罐(14)下方设置有砷收集盒(21)；所述的镓回收装置包括镓液冷却过滤器、洗镓槽(28)、分级溢流槽(30)和镓液收集槽(33)，镓液冷却过滤装置位于镓液收集器(10)下方，镓液冷却过滤装置的入口通过管路与镓液收集器(10)的出口连通，洗镓槽(28)位于镓液冷却过滤装置的下方，洗镓槽(28)通过管路与镓液冷却过滤装置的出口连接，洗镓槽(28)内设置有搅拌器(27)，分级溢流槽(30)位于洗镓槽(28)的下方，洗镓槽(28)的出液流至分级溢流槽(30)内，分级溢流槽(30)的出口通过管路与镓液收集槽(33)连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备，其特征在于：还包括自动控制系统，所述的自动控制系统包括控制器，位于添料口(1)与真空分解炉(3)之间的连接管路上的电磁阀A(2)，位于氮气进入管路(6)上的真空表A(8)、电磁阀B(7)、流量传感器A(5)，位于镓液收集器(10)下端的重力传感器(11)，位于集砷罐(14)与真空分解炉(3)低温端(9)连接管路上的电磁阀C(12)，位于集砷罐(14)与真空泵(18)的连通管路上的真空表B(15)、电磁阀D(29)和流量传感器B(16电磁阀C；17),位于洗镓槽(28)下端的电磁阀E。所述的真空表、流量传感器、重力传感器(11)将检测信号传入控制器的输入端，所述的控制器输出端发送相应指令至各个电磁阀，从而实现自动化控制。

3.根据权利要求1所述的一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备，其特征在于：所述的镓液冷却过滤器包括过滤器箱体(22)，过滤器箱体(22)内部设置有过滤台阶(23)，每一个过滤台阶(23)的阳角处设置有竖向的过滤板(24)，顺着下台阶的方向过滤隔板上端面高度依次递减，所述的过滤台阶(23)及过滤板(24)均为中空的双层板结构，过滤台阶(23)的中空腔与过滤板(24)的中空腔连通，在过滤器箱体(22)的外部设置有冷却液入口(25)，冷却液入口(25)分别与每一个过滤板(24)的上端连通，在过滤器箱体(22)的下部设置一个冷却液出口(26)。

4.根据权利要求3所述的一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备，其特征在于：所述的分级溢流槽(30)内设置有竖向的分隔板(31)，分隔板(31)将分级溢流槽(30)分成两个槽，其中一个槽底部连通有排水口(34)，另一个槽底部连通有镓液排出口(32)。

5.根据权利要求1所述的一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备，其特征在于：所述的真空泵(18)后端设置有三级过滤净化器(20)。

6.根据权利要求1所述的一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备，其特征在于：还包括声波振动器，所述的声波振动器与收集网(13)连接，从而通过声波振动抖落掉收集网(13)上的砷。