[发明专利]具备空间精度保持能力的主动消振支撑杆及减振系统

权利要求书

1.具备空间精度保持能力的主动消振支撑杆，其特征在于，包括：挠性铰A(1)、挠性铰B(6)、吸振作动器外壳(2)、吸振作动器底座(4)、吸振作动器(3)和力传感器(5)；

所述吸振作动器外壳(2)轴向一端通过挠性铰A(1)与扰振源相连，另一端与吸振作动器底座(4)相连；

所述力传感器(5)压紧在所述挠性铰B(6)与吸振作动器底座(4)之间；所述力传感器(5)具有预紧力；所述力传感器(5)用于采集轴向力信息，传递给外部控制器；

所述挠性铰B(6)与基础结构连接；

所述吸振作动器外壳(2)内部安装吸振作动器(3)，所述吸振作动器(3)用于在控制器的作用下产生轴向力，以抵消所述扰振源的扰动轴向力。

2.如权利要求1所述的具备空间精度保持能力的主动消振支撑杆，其特征在于：所述吸振作动器(3)包括：音圈电机动子(9)、音圈电机静子(12)和振动传力组件；

所述音圈电机动子(9)能够沿轴向移动；

所述音圈电机静子(12)与所述吸振作动器外壳(2)固定连接，并与外部控制器电连接；

所述振动传力组件与所述音圈电机动子(9)固接，将所述音圈电机动子(9)产生的轴向作动力传递至所述吸振作动器外壳(2)和所述吸振作动器底座(4)。

3.如权利要求2所述的具备空间精度保持能力的主动消振支撑杆，其特征在于：所述振动传力组件包括：膜簧A(7)、膜簧B(13)、限位块A(8)、限位块B(10)和连接螺栓(11)；

所述膜簧A(7)安装在所述挠性铰A(1)与所述吸振作动器外壳(2)之间；所述膜簧B(13)安装在所述吸振作动器外壳(2)与所述吸振作动器底座(4)之间；

所述连接螺栓(11)从下往上依次穿过所述膜簧B(13)、音圈电机静子(12)、音圈电机动子(9)、膜簧A(7)后通过螺母锁紧；

所述膜簧A(7)的上下两端分别通过螺母和套装在连接螺栓(11)上的限位块A(8)压紧；

所述膜簧B(13)的上下两端分别通过套装在连接螺栓(11)上的限位块B(10)和连接螺栓(11)的螺帽压紧。

4.如权利要求1-3任一项所述的具备空间精度保持能力的主动消振支撑杆，其特征在于：所述力传感器(5)套装在所述挠性铰B(6)上端面的螺柱上；所述螺柱穿出力传感器(5)的部分与所述吸振作动器底座(4)通过螺母锁紧，将所述力传感器(5)压紧在所述挠性铰B(6)与所述吸振作动器底座(4)之间；通过螺母对所述力传感器(5)施加预紧力。

5.如权利要求3所述的具备空间精度保持能力的主动消振支撑杆，其特征在于：所述限位块A(8)、限位块B(10)与所述音圈电机动子(9)一体加工。

6.如权利要求1-3任一项所述的具备空间精度保持能力的主动消振支撑杆，其特征在于：所述挠性铰A(1)、挠性铰B(2)、吸振作动器外壳(2)、吸振作动器底座(4)均采用金属制成。

7.如权利要求1-3任一项所述的具备空间精度保持能力的主动消振支撑杆，其特征在于：所述力传感器(5)内部敏感元件采用压电材料。

8.一种减振系统，其特征在于：包括：三个以上主动消振支撑杆；所述主动消振支撑杆为上述权利要求1-7任一项所述的具备空间精度保持能力的主动消振支撑杆，三个以上主动消振支撑杆按设定空间角度布置在扰振源和基础结构之间；三个以上主动消振支撑杆分别与控制器电连接。

9.如权利要求8所述的减振系统，其特征在于：所述主动消振支撑杆的一端通过转接角盒与扰振源相连，另一端通过转接角盒与基础结构相连。

10.如权利要求8所述的减振系统，其特征在于：包括六个主动消振支撑杆；六个所述主动消振支撑杆两两一组；三组所述主动消振支撑杆沿周向均匀间隔分布；每组中的两个主动消振支撑杆一端通过转接角盒与基础结构呈设定夹角相连，另一端通过转接角盒与扰振源同一位置相连。