[发明专利]一种晶硅太阳能电池及其氧化退火方法

权利要求书

1.一种晶硅太阳能电池的氧化退火方法，其特征在于，所述氧化退火方法对晶硅太阳能电池进行表面钝化处理，包括依次进行的进舟、抽真空、恒温、低压氧化、回压、常压氧化、吹扫和出舟；

其中，所述低压氧化包括向石英管内通入氮气和氧气，且所述氮气和氧气的通入流量之比为1:(2-5)；所述低压氧化的压力为100-500mbar，温度为650-720℃，时间为10-15min；

所述回压包括保持氮气和氧气的通入流量不变，将石英管内的压力升至0.8-1.2bar；

所述常压氧化过程中氧气的通入流量≥8000sccm；所述常压氧化的压力为0.8-1.2bar，温度为600-650℃，时间15-20min。

2.根据权利要求1所述的氧化退火方法，其特征在于，所述进舟包括将晶硅片插入石英舟并送入石英管内。

3.根据权利要求1所述的氧化退火方法，其特征在于，所述抽真空包括将石英管内抽真空至绝对真空度≤100mbar。

4.根据权利要求1所述的氧化退火方法，其特征在于，所述恒温的温度为650-720℃。

5.根据权利要求1所述的氧化退火方法，其特征在于，所述恒温的时间为5-10min。

6.根据权利要求1所述的氧化退火方法，其特征在于，所述吹扫包括停止向石英管内通入氧气，继续通入氮气进行吹扫。

7.根据权利要求6所述的氧化退火方法，其特征在于，所述氮气的通入流量为10000-14000sccm。

8.根据权利要求1所述的氧化退火方法，其特征在于，所述吹扫的时间为2-4min。

9.根据权利要求1所述的氧化退火方法，其特征在于，所述出舟包括将石英舟从石英管内取出，冷却后卸载晶硅片。

10.根据权利要求1-9任一项所述的氧化退火方法，其特征在于，所述氧化退火方法包括以下步骤：

(1)进舟：将晶硅片插入石英舟并送入石英管内；

(2)抽真空：将石英管内抽真空至绝对真空度≤100mbar；

(3)恒温：将石英管内温度升至650-720℃，并保持恒温5-10min；

(4)低压氧化：按照通入流量之比为1:(2-5)向石英管内通入氮气和氧气，并保持石英管内压力为100-500mbar，温度为650-720℃，进行低压氧化10-15min；

(5)回压：保持氮气和氧气的通入流量不变，将石英管内的压力升至0.8-1.2bar；

(6)常压氧化：保持石英管内的压力为0.8-1.2bar，氧气的通入流量≥8000sccm，设置温度为600-650℃降温退火15-20min；

(7)吹扫：停止向石英管内通入氧气，继续通入流量为10000-14000sccm的氮气进行吹扫2-4min；

(8)出舟：将石英舟从石英管内取出，冷却后卸载晶硅片。

11.一种晶硅太阳能电池，其特征在于，所述晶硅太阳能电池的制备方法包括如权利要求1-10任一项所述的氧化退火方法。