[发明专利]一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置

权利要求书

1.一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置，包括底座，所述底座上放置有真空石英管和与真空石英管配合的永磁体，其特征是，所述真空石英管的一侧设置有螺旋天线，另一侧设置有溅射靶板；所述螺旋天线连接有射频功率系统；所述溅射靶板连接有一传送杆，所述传送杆连接有一驱动装置，所述驱动装置带动所述传送杆转动且带动所述传送杆沿真空石英管的轴向移动。

2.根据权利要求1所述的一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置，其特征是，所述真空石英管的一侧通过进气法兰盘连接有进气系统。

3.根据权利要求2所述的一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置，其特征是，所述进气系统包括依次连接的气瓶、减压阀、流量计和进气阀，所述进气阀连接所述进气法兰盘。

4.根据权利要求2或3所述的一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置，其特征是，所述进气法兰盘与真空石英管连接处采用高温氟胶圈进行密封。

5.根据权利要求1所述的一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置，其特征是，所述螺旋天线通过同轴缆线与所述射频功率系统连接，所述射频功率系统包括相互连接的射频功率源和匹配器。

6.根据权利要求1所述的一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置，其特征是，所述传送杆连接有滤波器和直流稳压电源。

7.根据权利要求1所述的一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置，其特征是，所述真空石英管的另一侧通过法兰盘连接有真空系统。

8.根据权利要求7所述的一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置，其特征是，所述真空系统包括依次相连的真空计、抽气阀、涡轮分子泵和机械泵。