[发明专利]一种用于低噪声读出的探测器真空封装装置在审
申请号: | 202210740418.0 | 申请日: | 2022-06-28 |
公开(公告)号: | CN115112247A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 王坚;冯琪;张鸿飞;张军;曾锋;朱杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | G01J5/48 | 分类号: | G01J5/48;G01J5/04;G01J5/061;H05K5/02;H05K7/20 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 谢中用 |
地址: | 230026*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 噪声 读出 探测器 真空 封装 装置 | ||
1.一种用于低噪声读出的探测器真空封装装置,其特征在于,包括:
封装外壳,其内部中空,封装外壳的壳体上密封嵌设有玻璃封窗;
探测器,固设于封装外壳内且与玻璃封窗相对设置;
辐射隔离机构,设置在探测器与前放电路机构之间;
导冷机构,包括贯穿封装外壳并伸入封装外壳内的制冷机冷头、固定安装在制冷机冷头上的冷头基板、至少一个将冷头基板与探测器进行导热连接的探测器导冷链、固定安装在探测器导冷链靠近探测器一端的加热器,以及至少一个位于封装外壳内的温度传感器;所述温度传感器与加热器信号连接;
前放电路机构,包括固设于封装外壳内且与探测器信号连接的前放电路板、固设在前放电路板上的电路板导热框、将电路板导热框与导冷机构进行导热连接的冷源导冷链、将电路板导热框与封装外壳进行导热连接的外壳导冷链;
真空穿透件,包括嵌设在封装外壳中且与封装外壳密封连接的真空穿透件本体、以及贯穿真空穿透件本体的金属针;所述前放电路板与金属针位于封装外壳内的一端信号连接。
2.根据权利要求1所述的用于低噪声读出的探测器真空封装装置,其特征在于:所述封装外壳包括上部壳体以及底部法兰,所述上部壳体与底部法兰密封连接;所述玻璃封窗密封嵌设在上部壳体的顶面。
3.根据权利要求1所述的用于低噪声读出的探测器真空封装装置,其特征在于:包括支撑机构;所述支撑机构包括探测器基板、开设在探测器基板上的探测器固定孔位,以及基板支架;所述基板支架的一端与探测器基板固定连接,且另一端与封装壳体固定连接;
所述探测器包括探测器壳体、固设在探测器壳体上且与玻璃封窗相对设置的探测器成像面、以及固设于探测器壳体底部的探测器固定腿;所述探测器固定腿固定安装在探测器固定孔位中。
4.根据权利要求1所述的用于低噪声读出的探测器真空封装装置,其特征在于:
所述探测器包括探测器壳体、固设在探测器壳体上且与玻璃封窗相对设置的探测器成像面;
所述辐射隔离机构包括围设在探测器周向外部的环形冷屏、位于探测器下部的圆形冷屏,以及圆形的遮光板;所述遮光板的周向边缘与环形冷屏的上端面固定连接,所述遮光板上设置有与探测器壳体形状对应的开口,所述探测器放置在开口内且探测器成像面向上突出开口。
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